[发明专利]缺陷检测装置、键合设备以及键合方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，用于对键合前的键合载体进行缺陷检测，其特征在于，包括：光源、第一反射镜、远心场镜以及第一探测相机；所述光源用于提供检测光线，所述第一反射镜上设置有至少一个通孔，且所述第一反射镜的镜面背向所述光源；所述检测光线经所述第一反射镜上的通孔垂直入射至所述远心场镜，并经由所述远心场镜入射至所述键合载体；所述键合载体上存在所述缺陷时，所述检测光线经所述键合载体反射至所述远心场镜后，至少一部分检测光线被所述第一反射镜反射后被所述第一探测相机接收并成像。

2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述光源包括至少一个用于提供可见光的激光器。

3.如权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述光源还包括至少一个用于提供红外线的激光器和至少一个用于提供紫外线的激光器。

4.如权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括合束器，所述合束器用于将所述光源所提供的检测光线合成一路准直光束。

5.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一反射镜为平面反射镜。

6.如权利要求5所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一反射镜的镜面与所述光源提供的检测光线之间的夹角为10°~80°。

7.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括扫描振镜，所述检测光线经所述第一反射镜上的通孔入射至所述扫描振镜后，垂直入射至所述远心场镜。

8.如权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述扫描振镜为一维扫描振镜，用于将入射至其上的检测光线偏射形成一维的光线。

9.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一探测相机为线扫描振动相机。

10.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括至少一个第二探测相机以及至少一个第二反射镜，所述第二探测相机与第二反射镜一一对应，所述检测光线经所述键合载体反射至所述远心场镜后，至少一部分检测光线被所述第二反射镜反射后，被对应的第二探测相机接收并成像。

11.如权利要求10所述的缺陷检测装置，其特征在于，至少一部分检测光线被所述第一反射镜反射后被所述第一探测相机接收并形成明场像，至少一部分检测光线被所述第二反射镜反射后被对应的所述第二探测相机接收并形成暗场像。

12.如权利要求10所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括驱动机构，所述驱动机构用于带动所述第二探测相机以及所述第二反射镜移动。

13.一种键合设备，其特征在于，包括：

键合载台单元，用以承载及移动键合载体；

键合头单元，用以进行键合；以及

如权利要求1至12中任一项所述的缺陷检测装置，用以在所述键合头单元键合之前对所述键合载体进行缺陷检测。

14.如权利要求13所述的键合设备，其特征在于，所述键合载台单元包括工件台以及可移动机构，所述工件台用于承载所述键合载体，所述可移动机构用于带动所述工件台移动进而带动所述键合载体移动。

15.一种键合方法，其特征在于，包括：

键合载台单元承载键合载体至一缺陷检测位；

利用如权利要求1至12中任一项所述的缺陷检测装置对所述键合载体进行缺陷检测；当所述键合载体满足预定要求时，所述键合载台单元承载所述键合载体移动至键合头单元下进行键合；当所述键合载体不满足预定要求时，所述键合载台单元承载所述键合载体至一传出位。

16.如权利要求15所述的键合方法，其特征在于，所述键合载台单元包括工件台以及可移动机构，所述工件台用于承载所述键合载体，所述可移动机构用于带动所述工件台移动进而带动所述键合载体移动。