[发明专利]线源装置和OLED蒸镀机

权利要求书

1.一种线源装置，其特征在于，包括：

一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及

至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；

所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。

2.根据权利要求1所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。

3.根据权利要求2所述的线源装置，其特征在于，所述多个喷嘴呈阵列式排布，且相邻行之间的喷嘴相错设置。

4.根据权利要求2所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构还包括至少两个导流板，所述至少两个导流板相互间隔设置且设置在所述喷嘴和所述开口之间；

每个导流板上均开设有通孔，所述通孔用于将所述坩埚机构内的气态有机材料导流至所述喷嘴；

其中相邻的所述导流板之间的通孔相错设置；且自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的孔径递减。

5.根据权利要求4所述的线源装置，其特征在于，自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的密度递增。

6.根据权利要求4所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构包括至少两个第一加热器，每个所述第一加热器用于加热一所述导流板；每个所述第一加热器包括电热丝，每个所述导流板上开设有沟道，所述电热丝设置在所述沟道内；

所述电热丝从所述导流板的一端延伸至另一端，所述第一加热器设置有两个加热端，两个所述加热端分别位于同一所述导流板的两端且连接于所述电热丝。

7.根据权利要求1所述的线源装置，其特征在于，每个所述坩埚机构还包括第二加热器、坩埚和真空泵；所述第二加热器设置在所述坩埚腔体上，所述坩埚设置在所述坩埚腔体内，所述真空泵设置在所述坩埚腔体的外侧，所述真空泵用于对所述坩埚腔体抽真空或向所述坩埚腔体充气。

8.根据权利要求1所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构还包括第一冷却层和第一隔热层，所述坩埚机构还包括第二冷却层和第二隔热层；

所述第一冷却层设置在所述线源腔体的外壁上，所述第一隔热层设置在所述第一冷却层和所述线源腔体之间；所述第二冷却层设置在所述坩埚腔体的外壁上，所述第二隔热层设置在所述第二冷却层和所述坩埚腔体之间。

9.一种OLED蒸镀机，其特征在于，包括：

一蒸镀腔体，用于蒸镀OLED作业；以及

一线源装置，用于喷涂气态有机材料，所述线源装置包括：

一线源机构，设置在所述蒸镀腔体内且用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及

至少两个坩埚机构，设置在所述蒸镀腔体外侧，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和一连接阀；

所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。

10.根据权利要求9所述的OLED蒸镀机，其特征在于，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。