[发明专利]线源装置和OLED蒸镀机

说明书

本申请提供一种线源装置和OLED蒸镀机，其包括线源机构和至少两个坩埚机构，线源机构包括一线源腔体；每个坩埚机构均设置在线源机构的外侧，每个坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；连接阀设置在坩埚腔体和线源腔体之间，且用于将坩埚腔体和线源腔体隔开或连通。本申请通过至少两个坩埚机构的设置，提高了设备的使用效率，减少了设备加料时间。

技术领域

本申请涉及一种有机电致发光显示技术，特别涉及一种线源装置和OLED蒸镀机。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示器制程关键就是将有机发光材料填充至TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板像素中，目前量产普遍采用的真空蒸镀方式，即在真空环境下降有机材料加热蒸发至TFT基板像素，量产蒸镀红绿蓝发光膜层材料通常用线性蒸发源和线性坩埚，线源与坩埚为一体设计呈长方体形状，最外面为线性源，内设计加热丝、坩埚装于线源里面、有机材料装于坩埚里面，坩埚加坩埚盖，坩埚盖上有喷嘴，有机材料通过加热升华从喷嘴均匀的蒸发出来与TFT基板。

蒸镀制程中有机材料需要定期开腔添加，由于蒸镀环境为高真空环境，每次添加材料需要破真空，拿出坩埚添加材料，再关腔抽真空，停机时间久，而且开腔体容易污染腔体，对制程良率与设备稼动率都有影响。

发明内容

本申请实施例提供一种高效的线源装置和OLED蒸镀机，以解决现有的线源装置在真空蒸镀过程中，添加蒸镀材料时，耗时长且开腔体时容易污染的技术问题。

本申请实施例提供一种线源装置，其包括：

一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及

至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；

所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。

在本申请的线源装置中，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。

在本申请的线源装置中，所述多个喷嘴呈阵列式排布，且相邻行之间的喷嘴相错设置。

在本申请的线源装置中，所述线源机构还包括至少两个导流板，所述至少两个导流板相互间隔设置且设置在所述喷嘴和所述开口之间；

每个导流板上均开设有通孔，所述通孔用于将所述坩埚机构内的气态有机材料导流至所述喷嘴；

其中相邻的所述导流板之间的通孔相错设置；且自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的孔径递减。

在本申请的线源装置中，自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的密度递增。

在本申请的线源装置中，所述线源机构包括至少两个第一加热器，每个所述第一加热器用于加热一所述导流板；每个所述第一加热器包括电热丝，每个所述导流板上开设有沟道，所述电热丝设置在所述沟道内；

所述电热丝从所述导流板的一端延伸至另一端，所述第一加热器设置有两个加热端，两个所述加热端分别位于同一所述导流板的两端且连接于所述电热丝。

在本申请的线源装置中，每个所述坩埚机构还包括第二加热器、坩埚和真空泵；所述第二加热器设置在所述坩埚腔体上，所述坩埚设置在所述坩埚腔体内，所述真空泵设置在所述坩埚腔体的外侧，所述真空泵用于对所述坩埚腔体抽真空或向所述坩埚腔体充气。