[发明专利]一种双片制绒分片机在审

专利信息
申请号: 201811634901.0 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109638112A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 宁佐强;何鹏;莫计亨 申请(专利权)人: 无锡尚品高自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/67;C30B33/08
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人: 吴肖敏
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 花篮 硅片 吸盘机构 输送线 双片 制绒 六轴机器人 存放盒 分片机 模组 下层 装满 皮带输送线 缓存 平台机构 上料平台 对接处 黑硅 装片 主线
【权利要求书】:

1.一种双片制绒分片机,其特征在于,包括机架(1)、左上料平台机构(2)、右上料平台机构(3)、侧吸盘机构(4)、分片吸盘机构(5)、下料缓存机构(6)、缓存整位机构(7)、硅片皮带输送线机构(8)、自动换篮机构(9)和花篮输送线机构(10);

所述左上料平台机构(2)和右上料平台机构(3)各设置有可前后移动的模组机构A(11),模组机构A11安装在具有3度倾角的台面板(12)上;模组机构A(10)上安装滑动底板(13),滑动底板(13)上安装前花篮放置治具托板(14)和后花篮放置治具托板(15),滑动底板(13)上安装有花篮定位机构(16);

所述侧吸盘机构(4)包括吸盘机构(41)、X轴模组机构(42)及Y轴模组机构(43),吸盘机构(41)上安装六十片吸盘A(44)和六十片隔片A(45),六十片吸盘A(44)和六十片隔片A(45)安装在吸盘固定机构A(46)上;吸盘固定机构(46)安装固定在Y轴模组机构(43)上,Y轴模组机构(43)安装固定在X轴模组机构(42)上,X轴模组机构(42)安装固定在有3度倾角的台面板(12)上;所述分片吸盘机构(5)安装六十片吸盘B(51)和六十片隔片B(52),六十片吸盘B(51)和六十片隔片B(52)安装在吸盘固定机构B(53)上,分片吸盘机构(5)安装在六轴机器人(17)上;

所述下料缓存机构(6)包括模组机构上设置有可上下移动的模组机构B1(8),硅片存放盒机构(19)安装在模组机构B1(8)上,缓存整位机构(7)安装在硅片存放盒机构(19)一侧;模组机构B1(8)连接至硅片皮带输送线机构(8),硅片皮带输送线机构(8)包括A段硅片皮带输送线机构(81)和B段硅片皮带输送线机构(82);

所述自动换篮机构(9)上设置有花篮切换模组(91),换篮花篮输送线机构(92)安装在花篮切换模组(91)上,换篮花篮输送线机构(92)上装有花篮整位机构(93)和压篮机构(94);所述花篮输送线机构(10)上设置有上层空花篮进篮输送线机构(101)和下层满花篮出篮输送线机构(102),下层满花篮出篮输送线机构(102)上设有动力电机(103)、输送同步带(104)、输送基座(105);所述动力电机(103)安装在输送基座(105)下方,输送基座(105)上安装输送同步带(104)。

2.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述机架(1)用铝型材材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述后花篮放置治具托板(14)上设置花篮到位检测感应器。

4.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述六十片吸盘A(44)、六十片吸盘B(45)、六十片隔片A(51)和六十片隔片B(52)均采用陶瓷材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述机架(1)上安装有三套下料缓存机构(6)、三套缓存整位机构(7)以及三个通道硅片皮带输送线机构(8)。

6.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述A段硅片皮带输送线机构(81)其上设有支撑立柱A(811),输送横梁8(12),平皮带输送电机A(813),输送皮带(814),输送主动轮(815)和输送从动轮(816);所述支撑立柱A(811)上方安装输送横梁(812),输送横梁(812)上安装输送皮带(814);输送皮带(814)一端安装输送主动轮(815),平皮带输送电机A(813)安装在输送主动轮(815)一侧,输送皮带(814)另一端安装输送从动轮(816)。

7.根据权利要求1所述的一种双片制绒分片机,其特征在于,所述B段硅片皮带输送线机构(82)其上设有支撑立柱B(821),平皮带输送电机B(822),输送伸缩横梁(823),伸缩导轨(824),伸缩动力电机(825),伸缩动力电机同步带(826);所述支撑立柱B(821)上方安装伸缩动力电动机(825),支撑立柱B(821)一侧安装伸缩动力电动机同步带(826);伸缩动力电动机同步带(826)下方安装伸缩导轨(824),伸缩导轨(824)一侧安装平皮带输送电机B(822),平皮带输送电机B(822)上方安装输送伸缩横梁(823);所述A段硅片皮带输送线机构(81)连接至输送伸缩横梁(823)。

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