[发明专利]一种半导体晶粒片转移装置在审

专利信息
申请号: 201811635333.6 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109524334A 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 李凤丽;邹祥林;张俊 申请(专利权)人: 泰州芯格电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 代理人: 周浩杰
地址: 225500 江苏省泰*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 刮板 滑动 台面 滑动梁 上料台 上料 薄膜 滑动控制组件 半导体晶粒 薄膜卷筒 电动滚筒 转移装置 脱开 穿出 压紧 半导体晶圆 驱动装置 压紧组件 下表面 分拣 拼合 切割 穿过 驱动
【权利要求书】:

1.一种半导体晶粒片转移装置,具有机架(1);其特征在于:所述机架(1)上固定设有上料台面(11);所述机架(1)上滑动设有通过第一滑动控制组件(2)可与上料台面(11)的右侧拼合或脱开的刮板(3);所述机架(1)上位于上料台面(11)的下方滑动设有电动滚筒(4);所述电动滚筒(4)通过第二滑动控制组件(5)可与上料台面(11)的下表面压紧或脱开;所述机架(1)还设有薄膜卷筒(6);薄膜卷筒(6)上的薄膜(7)从刮板(3)的下方穿过并从刮板(7)与上料台面(11)之间穿出;所述机架(1)上滑动设有通过驱动装置驱动其滑动的滑动梁(8);滑动梁(8)跨设在刮板(3)的上方;所述滑动梁(8)上设有用于压紧从刮板(3)与上料台面(11)之间穿出的薄膜)7的压紧组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述上料台面(11)呈斜面;所述刮板(3)为水平设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述机架(1)上固定设有支撑台面(12);所述刮板(3)在支撑台面(12)与上料台面(11)之间滑动。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:还配设有用于放置在薄膜(7)与刮板(3)之间的盛接板(10)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述第一滑动控制组件(2)包括第一主杆(21)、第一控制拨杆(22)和第一摇杆(23);刮板(3)的两端滑动设置在机架(1)上,刮板(3)的两端均与一个第一摇杆(23)的一端转动连接,两个第一摇杆(23)的另一端均与第一主杆(21)转动连接;第一主杆(21)转动连接在机架(1)上,第一主杆(21)的一端伸出机架(1)并与可控制第一主杆(21)转动的第一控制拨杆(22)连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述第二滑动控制组件(5)包括第二主杆(51)、第二控制拨杆(52)和第二摇杆(53);电动滚筒(4)两端均与一个第二摇杆(53)的一端转动连接,两个第二摇杆(53)的另一端均与第二主杆(51)固定连接;第二主杆(51)转动连接在机架(1)上,第二主杆(51)的一端伸出机架(1)并与可控制第二主杆(51)转动的第二控制拨杆(52)连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述压紧组件(9)包括支架(91)、压块(92)和拉杆(93);所述支架(91)固定连接在滑动梁(8)上且位于刮板(3)的上方;压块(92)的两端转动连接在支架(91)上,压块(92)上固定设有用于控制其转动的拉杆(93);压块(92)的一侧为与支架(1)配合压紧的压头。

8.根据权利要求4所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述盛接板(10)为金属板;所述盛接板(10)上还配设有可将薄膜(7)压紧在盛接板(10)上的吸铁石。

9.根据权利要求4所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:刮板(3)上靠近上料台面(11)的一侧设有用于定位盛接板(10)放置的限位档条。

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