[发明专利]一种半导体晶粒片转移装置在审
申请号: | 201811635333.6 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109524334A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 李凤丽;邹祥林;张俊 | 申请(专利权)人: | 泰州芯格电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 常州易瑞智新专利代理事务所(普通合伙) 32338 | 代理人: | 周浩杰 |
地址: | 225500 江苏省泰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刮板 滑动 台面 滑动梁 上料台 上料 薄膜 滑动控制组件 半导体晶粒 薄膜卷筒 电动滚筒 转移装置 脱开 穿出 压紧 半导体晶圆 驱动装置 压紧组件 下表面 分拣 拼合 切割 穿过 驱动 | ||
1.一种半导体晶粒片转移装置,具有机架(1);其特征在于:所述机架(1)上固定设有上料台面(11);所述机架(1)上滑动设有通过第一滑动控制组件(2)可与上料台面(11)的右侧拼合或脱开的刮板(3);所述机架(1)上位于上料台面(11)的下方滑动设有电动滚筒(4);所述电动滚筒(4)通过第二滑动控制组件(5)可与上料台面(11)的下表面压紧或脱开;所述机架(1)还设有薄膜卷筒(6);薄膜卷筒(6)上的薄膜(7)从刮板(3)的下方穿过并从刮板(7)与上料台面(11)之间穿出;所述机架(1)上滑动设有通过驱动装置驱动其滑动的滑动梁(8);滑动梁(8)跨设在刮板(3)的上方;所述滑动梁(8)上设有用于压紧从刮板(3)与上料台面(11)之间穿出的薄膜)7的压紧组件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述上料台面(11)呈斜面;所述刮板(3)为水平设置。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述机架(1)上固定设有支撑台面(12);所述刮板(3)在支撑台面(12)与上料台面(11)之间滑动。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:还配设有用于放置在薄膜(7)与刮板(3)之间的盛接板(10)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述第一滑动控制组件(2)包括第一主杆(21)、第一控制拨杆(22)和第一摇杆(23);刮板(3)的两端滑动设置在机架(1)上,刮板(3)的两端均与一个第一摇杆(23)的一端转动连接,两个第一摇杆(23)的另一端均与第一主杆(21)转动连接;第一主杆(21)转动连接在机架(1)上,第一主杆(21)的一端伸出机架(1)并与可控制第一主杆(21)转动的第一控制拨杆(22)连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述第二滑动控制组件(5)包括第二主杆(51)、第二控制拨杆(52)和第二摇杆(53);电动滚筒(4)两端均与一个第二摇杆(53)的一端转动连接,两个第二摇杆(53)的另一端均与第二主杆(51)固定连接;第二主杆(51)转动连接在机架(1)上,第二主杆(51)的一端伸出机架(1)并与可控制第二主杆(51)转动的第二控制拨杆(52)连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述压紧组件(9)包括支架(91)、压块(92)和拉杆(93);所述支架(91)固定连接在滑动梁(8)上且位于刮板(3)的上方;压块(92)的两端转动连接在支架(91)上,压块(92)上固定设有用于控制其转动的拉杆(93);压块(92)的一侧为与支架(1)配合压紧的压头。
8.根据权利要求4所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:所述盛接板(10)为金属板;所述盛接板(10)上还配设有可将薄膜(7)压紧在盛接板(10)上的吸铁石。
9.根据权利要求4所述的一种半导体晶粒片转移装置,其特征在于:刮板(3)上靠近上料台面(11)的一侧设有用于定位盛接板(10)放置的限位档条。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造