[发明专利]机械手及其机械手指

说明书

本发明公开一种机械手及其机械手指，用于输送晶片，所述机械手指包括手指本体和定位柱，其中所述手指本体具有多个限位孔，至少3个所述限位孔位于所述晶片的边界位置；所述定位柱可拆卸地设置于所述限位孔内，以使所述晶片卡设于所述定位柱上。通过在手指本体上设置多个限位孔，利用定位柱与不同的限位孔配合可以适应不同规格的晶片，从而可以提高机械手指的通用性。

技术领域

本发明涉及一种晶片传输技术领域，具体而言，涉及一种用于传输晶片的机械手及其机械手指。

背景技术

在科技飞速发展，半导体行业日见突出重要的今天，半导体的自动化及要求也越来越高，半导体行业中很多设备都用到了机械手传送晶片，然而传送晶片的机械手指也有多种多样，但这些机械手指多为功能单一的机械手指，且调节机械手指的位置比较困难。

传统用于运输多种规格晶圆的机械手指一般是在机械手指上开沉槽，如此一般也只能承载两三种标准规格的晶片，这不能满足目前机械手指的通用性的要求。

另外，采用在机械手指上开沉槽的做法，还会降低机械手指的刚度，从而影响机械手指的使用寿命。

因此，本领域技术人员亟需提供一种机械手指，以能够具有更好的通用性，降低制造成本。在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种机械手指。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种机械手。

为实现上述发明目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供了一种机械手指，用于输送晶片，所述机械手指包括手指本体和定位柱，其中所述手指本体具有多个限位孔，至少3个所述限位孔位于所述晶片的边界位置；所述定位柱可拆卸地设置于所述限位孔内，以使所述晶片卡设于所述定位柱上。

根据本发明的一实施方式，其中所述限位孔为螺纹孔，所述定位柱的外周设置有外螺纹。

根据本发明的一实施方式，其中所述定位柱设置为由顶端向底端延伸的方向，所述定位柱的顶部的横截面尺寸逐渐增大。

根据本发明的一实施方式，其中所述定位柱的顶部呈圆台形结构，该圆台形结构的圆台斜角为0°—45°。

根据本发明的一实施方式，其中所述手指本体上还设置有备用柱孔，所述备用柱孔设置有与所述定位柱匹配的内螺纹。

根据本发明的一实施方式，其中所述手指本体还具有减重孔。

根据本发明的另一方面，提供一种机械手，所述机械手包括机械手臂和本发明提供的机械手指，所述机械手指连接于所述机械手臂上。

根据本发明的一实施方式，其中所述机械手指上设置有手指定位部，所述机械手臂上设置有与所述手指定位部匹配的手臂定位部，所述手指定位部与所述手臂定位部配合，以将所述机械手指固定于所述机械手臂上。

根据本发明的一实施方式，其中所述手指定位部或者所述手臂定位部两者中的一者为固定孔，所述手指定位部或者所述手臂定位部两者中的另一者为固定柱，所述固定柱与所述固定孔配合以将所述机械手指固定于所述机械手臂上。

根据本发明的一实施方式，其中所述固定孔为长孔，以及/或者所述固定柱为横截面为圆形的柱体。