[发明专利]交换版机械手移入移出装置

权利要求书

1.一种交换版机械手移入移出装置，其特征在于，包括：

底座(10)，其上安装交换版机械手；

定位销(20)，设置在所述底座(10)上，被配置为与掩模台分系统的承载框架(200)可拆卸连接；

水平导轨(30)，与所述承载框架(200)固定连接，所述水平导轨上滑动设置有第一滑块(31)；

垂直导轨(40)，其上滑动设置有第二滑块；

转臂(50)，分别与所述第一滑块(31)和所述第二滑块连接；

转轴(60)，与所述垂直导轨(40)固定连接，所述转轴(60)两端设置有上轴端(70)和下轴端(80)，所述转轴(60)通过所述上轴端(70)和所述下轴端(80)与所述底座(10)连接；所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均具有轴接状态和脱轴状态，当所述定位销(20)与所述承载框架(200)连接时，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于脱轴状态；当所述定位销(20)从所述承载框架(200)上取下后，所述上轴端(70)和所述下轴端(80)均处于轴接状态，所述底座(10)能够绕所述上轴端(70)和所述下轴端(80)旋转；

传动机构，分别与所述转臂(50)和所述转轴(60)连接，用于在动力源的驱动力作用下带动所述垂直导轨(40)和所述转轴(60)沿竖直方向上下移动。

2.根据权利要求1所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述上轴端(70)包括：上轴承座(71)、上轴肩(72)、第一圆锥滚子轴承(73)和限位件(74)，所述上轴承座(71)与所述底座(10)连接，所述上轴肩(72)与所述转轴(60)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的外圈(731)与所述上轴承座(71)连接，所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)与所述上轴肩(72)连接，所述限位件(74)穿过所述上轴承座(71)与所述第一圆锥滚子轴承(73)的内圈(732)连接。

3.根据权利要求2所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述下轴端(80)包括：下轴承座(81)、第二圆锥滚子轴承(83)和下轴肩(82)，所述下轴承座(81)与所述底座(10)连接，所述第二圆锥滚子轴承(83)的外圈(831)与所述下轴承座(81)连接，所述下轴肩(82)由上至下依次穿过所述底座(10)和所述下轴承座(81)与所述第二圆锥滚子轴承(83)的内圈(832)连接。

4.根据权利要求3所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述下轴端(80)还包括内圈挡套(84)、固定件(85)和弹簧(86)，所述内圈挡套(84)一端与所述第二圆锥滚子轴承(83)的内圈(832)连接，另一端通过所述固定件(85)与所述下轴肩(82)连接，所述弹簧(86)设置在所述内圈挡套(84)和所述固定件(85)之间。

5.根据权利要求3所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述第一圆锥滚子轴承(73)和所述第二圆锥滚子轴承(83)均采用内圈位于外圈下方的方式布置。

6.根据权利要求1-5之一所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述传动机构包括：齿轮箱(90)和梯形丝杆，所述齿轮箱(90)设置在所述转轴(60)上端，所述梯形丝杆包括丝母(120)和丝杆(110)，所述丝母(120)与所述转臂(50)连接，所述丝杆(110)一端与所述齿轮箱(90)连接，另一端穿过所述丝母(120)与所述转轴(60)的下端连接。

7.根据权利要求6所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述传动机构还包括手柄(130)，所述手柄(130)与所述齿轮箱(90)连接。

8.根据权利要求6所述的交换版机械手移入移出装置，其特征在于，所述齿轮箱(90)包括相互垂直设置的第一伞齿轮(91)和第二伞齿轮(92)。