[发明专利]交换版机械手移入移出装置

说明书

本发明公开了一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座、定位销、水平导轨、垂直导轨、转臂、转轴和传动机构，底座上安装交换版机械手；定位销设置在底座上与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；垂直导轨与水平导轨垂直设置，其上滑动设置有第二滑块；转臂分别与第一滑块和第二滑块连接；转轴与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；传动机构用于在驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。上述的交换版机械手移入移出装置能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种交换版机械手移入移出装置。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到基底区域的设备。掩模传输分系统负责掩模物料在曝光成像单元和物料接口之间的传送，是光刻设备的重要组成部分。交换版机械手作为掩模传输分系统对接掩模台分系统的接口，为实现功能需要其部分嵌入到掩模台分系统内部工作。为实现掩模台分系统和交换版机械手的维修维护，需要将交换版机械手移动到整机外部进行维修维护，维修维护结束后，再将交换版机械手重新移入到掩模台分系统内部，为确保交换版机械手的安装定位精度，需保证一定的定位重复性。传统技术中通过人工将交换版机械手从掩模台分系统内移入移出，为保证定位重复性，将交换版机械手移入掩模台分系统内时需要反复进行位置对准操作，人工劳动强度大，且对准效率低，导致掩模台分系统和交换版机械手维修维护时间长，大大影响了光刻设备的产率。

发明内容

本发明的目的在于提出一种交换版机械手移入移出装置，能够实现交换版机械手移入掩模台分系统内时快速精准定位，提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种交换版机械手移入移出装置，包括：

底座，其上安装交换版机械手；

定位销，设置在底座上，被配置为与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；

水平导轨，与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；

垂直导轨，其上滑动设置有第二滑块；

转臂，分别与第一滑块和第二滑块连接；

转轴，与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；上轴端和下轴端均具有轴接状态和脱轴状态，当定位销与承载框架连接时，上轴端和下轴端均处于脱轴状态；当定位销从承载框架上取下后，上轴端和下轴端均处于轴接状态，底座能够绕上轴端和下轴端旋转；

传动机构，分别与转臂和转轴连接，用于在动力源的驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。

在其中一个实施例中，上轴端包括：上轴承座、上轴肩、第一圆锥滚子轴承和限位件，上轴承座与底座连接，上轴肩与转轴连接，第一圆锥滚子轴承的外圈与上轴承座连接，第一圆锥滚子轴承的内圈与上轴肩连接，限位件穿过上轴承座与第一圆锥滚子轴承的内圈连接。

在其中一个实施例中，下轴端包括：下轴承座、第二圆锥滚子轴承和下轴肩，下轴承座与底座连接，第二圆锥滚子轴承的外圈与下轴承座连接，下轴肩由上至下依次穿过底座和下轴承座与第二圆锥滚子轴承的内圈连接。

在其中一个实施例中，下轴端还包括内圈挡套、固定件和弹簧，内圈挡套一端与第二圆锥滚子轴承的内圈连接，另一端通过固定件与下轴肩连接，弹簧设置在内圈挡套和固定件之间。

在其中一个实施例中，第一圆锥滚子轴承和第二圆锥滚子轴承均采用内圈位于外圈下方的方式布置。