[发明专利]一种扫描式基片表面检测方法和装置

权利要求书

1.一种扫描式基片表面检测方法,其特征在于,基片倾斜，在基片的表面加第一液体液滴；将牵引装置和第一液体接触，以牵引装置引导第一液体运动；通过第一液体液滴运动的状态检测基片表面的均匀性；其中，所述第一液体液滴在重力的作用下不主动滑落；所述第一液体液滴在牵引装置的作用下运动。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片倾斜指的是基片表面与水平面呈30-90度夹角；优选40-80度夹角。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基片表面疏水化学修饰。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一液体为含水的液体。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述牵引装置为注射针头、点胶枪头、移液器枪头或者其它具有尖锐头部的物品。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一液体液滴的量为0.005-0.1mL；优选0.005-0.05mL；更优选0.01-0.04mL；更优选0.03mL。

7.一种扫描式基片表面检测方法，包括以下步骤，基片倾斜；牵引装置靠近基片；通过牵引装置头部的加液孔向基片表面加第一液体液滴；以牵引装置引导第一液体液滴运动；通过第一液体液滴运动的状态检测基片表面的均匀性；其中，所述第一液体液滴在重力的作用下不主动滑落；所述第一液体液滴在牵引装置的作用下运动。

8.一种扫描式基片表面检测装置,包括基片固定装置，牵引装置，第一液体加液装置；其中，基片固定在基片固定装置上，第一液体加液装置用于向基片表面加第一液体液滴，牵引装置用于牵引第一液体液滴的运动。

9.一种扫描式基片表面检测装置，包括基片固定装置，牵引装置，第一液体加液装置；其中，基片固定在基片固定装置上；所述牵引装置的头部具有加液孔；第一液体加液装置通过管路连通到牵引装置；第一液体加液装置用于通过牵引装置头部的加液孔向基片表面加第一液体液滴，牵引装置用于牵引第一液体液体的运动。

10.根据前面任一项权利要求的装置，所述牵引装置包括电机，电机运动控制装置，接触件；其中，所述接触件在电机的带动下运动，电机运动控制装置用于控制电机，接触件与液滴接触的部分具有接触头部，接触头部用于接触液滴，并且带动液滴运动。