[发明专利]一种DTSCR器件在审
申请号: | 201811646024.9 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN109904215A | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 王源;张立忠 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L27/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 预设 掺杂区 衬底 二极管 触发电压 依次连接 依次设置 触发 源区 | ||
1.一种DTSCR器件,其特征在于,包括:P型衬底,所述P型衬底上从左至右依次设置有预设P+掺杂区、预设N+掺杂区以及多个N阱区,所述多个N阱区中的所有N阱区从左至右依次连接;
所述预设N+掺杂区的部分区域构成预设N阱区;
其中,所述预设P+掺杂区和所述预设N+掺杂区均为源区。
2.根据权利要求1所述的DTSCR器件,其特征在于,所述预设N+掺杂区上设置有第一金属区,所述预设P+掺杂区上设置有第二金属区,所述第一金属区和所述第二金属区均接地。
3.根据权利要求1所述的DTSCR器件,其特征在于,所述多个N阱区中每个N阱区均包括P+掺杂区和N+掺杂区,且所述P+掺杂区位于所述N+掺杂区左侧;
所述多个N阱区中最左侧的P+掺杂区上设置有第三金属区,所述第三金属区与静电输入端连接;
所述多个N阱区中最右侧的N+掺杂区上设置有第四金属区,所述第四金属区接地。
4.根据权利要求3所述的DTSCR器件,其特征在于,所述多个N阱区具体包括第一N阱区、第二N阱区、第三N阱区以及第四N阱区,所述第一N阱区、所述第二N阱区、所述第三N阱区以及所述第四N阱区从左至右依次连接。
5.根据权利要求4所述的DTSCR器件,其特征在于,所述第一N阱区与所述第二N阱区之间通过第一导电区连接,所述第二N阱区与所述第三N阱区之间通过第二导电区连接,所述第三N阱区与所述第四N阱区之间通过第三导电区连接。
6.根据权利要求5所述的DTSCR器件,其特征在于,所述第一N阱区具体包括第一P+掺杂区和第一N+掺杂区,所述第二N阱区具体包括第二P+掺杂区和第二N+掺杂区,所述第三N阱区具体包括第三P+掺杂区和第三N+掺杂区,所述第四N阱区具体包括第四P+掺杂区和第四N+掺杂区;
所述第一导电区分别与所述第一N+掺杂区和所述第二P+掺杂区连接;所述第二导电区分别与所述第二N+掺杂区和所述第三P+掺杂区连接;所述第三导电区分别与所述第三N+掺杂区和所述第四P+掺杂区连接。
7.根据权利要求5所述的DTSCR器件,其特征在于,所述第一导电区、所述第二导电区以及所述第三导电区均为金属导电区。
8.根据权利要求7所述的DTSCR器件,其特征在于,所述金属导电区的导电材料为铜。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的DTSCR器件,其特征在于,所述预设P+掺杂区用于注入P+掺杂,所述预设N+掺杂区用于注入N+掺杂。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的DTSCR器件,其特征在于,所述多个N阱区中的每个N阱区均用于注入N型掺杂。
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