[发明专利]一种光刻投影物镜及光刻机

权利要求书

1.一种光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜包括沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、光阑、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，所述第一透镜组与所述第六透镜组关于所述光阑对称，所述第二透镜组与所述第五透镜组关于所述光阑对称；所述第三透镜组和所述第四透镜组关于所述光阑对称；

其中，f₁为所述第一透镜组以及所述第六透镜组的焦距，f₂为所述第二透镜组以及所述第五透镜组的焦距，f₃为所述第三透镜组以及所述第四透镜组的焦距；

所述光刻投影物镜在i线波段、h线波段和g线波段光照下的最大像方数值孔径为0.14。

2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组以及所述第六透镜组具有正的光焦度，所述第二透镜组以及所述第五透镜组具有负的光焦度，所述第三透镜组以及所述第四透镜组具有正的光焦度。

3.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组、所述第四透镜组、所述第五透镜组和所述第六透镜组中的所有的透镜均为球面透镜。

4.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组、所述第二透镜组、所述第三透镜组、所述第四透镜组、所述第五透镜组和所述第六透镜组均包括至少一个弯月透镜。

5.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组包括4个透镜，所述第二透镜组包括2个透镜；所述第三透镜组包括4个透镜；

所述第四透镜组包括4个透镜；所述第五透镜组包括2个透镜；所述第六透镜组包括4个透镜。

6.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第一透镜组包括沿光轴依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；所述第一透镜为双凹透镜，所述第二透镜和所述第三透镜均为弯月透镜，所述第四透镜为双凸透镜；

所述第六透镜组包括沿光轴依次排列的第十七透镜、第十八透镜、第十九透镜和第二十透镜；所述第十七透镜为双凸透镜，所述第十八透镜和所述第十九透镜均为弯月透镜，所述第二十透镜为双凹透镜。

7.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第二透镜组包括沿光轴依次排列的第五透镜和第六透镜；所述第五透镜为弯月透镜，所述第六透镜为双凹透镜；

所述第五透镜组包括沿光轴依次排列的第十五透镜和第十六透镜；所述第十五透镜为双凹透镜，所述第十六透镜为弯月透镜。

8.根据权利要求5所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述第三透镜组包括沿光轴依次排列的第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜；所述第七透镜为弯月透镜，所述第八透镜和所述第十透镜为双凸透镜，所述第九透镜为双凹透镜；所述第四透镜组包括沿光轴依次排列的第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜；所述第十一透镜和所述第十三透镜为双凸透镜，所述第十二透镜为双凹透镜，所述第十四透镜为弯月透镜。

9.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜在i线波段光照下的最大像方数值孔径为0.18。

10.根据权利要求1所述的光刻投影物镜，其特征在于，所述光刻投影物镜的曝光视场直径为62.934mm。

11.一种光刻机，其特征在于，包括：权利要求1-10任一项所述的光刻投影物镜。