[实用新型]曝光机的光源系统有效
| 申请号： | 201820005844.9 | 申请日： | 2018-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN207965469U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 杨小丽 | 申请（专利权）人： | 富丽明企业有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 中国台湾桃园市中坜*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源阵列 曝光机 光源系统 光源调整装置 本实用新型 反光罩 光源 光照度均匀性 行列排列 装置连接 装置设置 模块化 照射面 可拆 反射 曝光 替代 | ||
1.一种曝光机的光源系统，用于提供光源至一照射面，其特征在于，包含：
一基座，是供可拆地安装至曝光机上；
一光源阵列装置，设置于该基座上，该光源阵列装置包括以行列排列而成的多个排LED灯组；
一光源调整装置，与该光源阵列装置连接，用以调整该多个LED灯组相对于该基座的位置；以及
一反光罩，设置于该基座下方，用以反射该多个LED灯组发出的光线。
2.如权利要求1所述的光源系统，其特征在于，该光源阵列装置包括并排形成该多个LED灯组的多个条型灯座，每一条型灯座上具有以线性排列的二个以上LED灯板。
3.如权利要求2所述的光源系统，其特征在于，位于各该条型灯座二端的LED灯板是以照射方向朝外的方式倾斜配置。
4.如权利要求3所述的光源系统，其特征在于，各该条型灯座二端分别具有一倾斜部，各该倾斜部具有面朝外的倾斜面，各该LED灯板设置于该倾斜面上。
5.如权利要求4所述的光源系统，其特征在于，位于各该条型灯座二端具有至少一个LED灯板是以照射方向与该照射面呈7-13度的夹角的方式倾斜配置。
6.如权利要求5所述的光源系统，其特征在于，各该LED灯板前设置有一透镜组。
7.如权利要求6所述的光源系统，其特征在于，该光源调整装置包括多个支架与多个调节臂，该多个支架设置于该基座上，每一条型灯座通过对应的调节臂与对应的支架可拆地结合，并供通过调整该多个调节臂与对应的支架或对应的条型灯座之间的固定角度或固定位置来调整该多个LED灯组对于该照射面的出光角度及强度。
8.如权利要求7所述的光源系统，其特征在于，该光源阵列装置具有设置于每一条型灯座上的冷却机构。
9.如权利要求8所述的光源系统，其特征在于，每一条型灯座上的冷却机构是选自下述的其一者：一水冷式管线、一散热鳍片、一水冷式管线与散热鳍片的组合。
10.如权利要求9所述的光源系统，其特征在于，该光源阵列装置包括一玻璃板，其配置于该多个LED灯组前方。
11.如权利要求2至10中任一项所述的光源系统，其特征在于，该光源阵列装置还包括一补偿灯组，其安装于该光源调整装置上并配置在该多个条型灯座之间，该补偿灯组具有长度小于该条型灯座的一移动灯座及设置于该移动灯座上的LED灯板。
12.如权利要求11所述的光源系统，其特征在于，该补偿灯组的该LED灯板前设置有一透镜组。
13.如权利要求11所述的光源系统，其特征在于，该补偿灯组的该移动灯座设置有一反射板，该反射板是邻近该LED灯板设置并相对于照射面具有135-150度的夹角。
14.如权利要求2至10中任一项所述的光源系统，其特征在于，该反光罩包括环绕该照射面且形成弧面的反射面。
15.如权利要求14所述的光源系统，其特征在于，所述弧面具有0.4-0.7rad的曲度。
16.如权利要求2至10中任一项所述的光源系统，其特征在于，该反光罩包括环绕该照射面且与该照射面形成锐角的反射面。
17.如权利要求16所述的光源系统，其特征在于，所述锐角为50-55度。
18.如权利要求2至10中任一项所述的光源系统，其特征在于，该反光罩包括环绕该照射面且具有多个斜率的倾斜面的反射面。
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