[实用新型]曝光机的光源系统有效
申请号: | 201820005844.9 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN207965469U | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 杨小丽 | 申请(专利权)人: | 富丽明企业有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 中国台湾桃园市中坜*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光源阵列 曝光机 光源系统 光源调整装置 本实用新型 反光罩 光源 光照度均匀性 行列排列 装置连接 装置设置 模块化 照射面 可拆 反射 曝光 替代 | ||
本实用新型提供一种曝光机的光源系统,用于提供光源至照射面,包含基座、光源阵列装置、光源调整装置及反光罩;该基座系供可拆地安装至曝光机上;该光源阵列装置设置于该基座上,该光源阵列装置包括以行列排列而成的多个排LED灯组;该光源调整装置系与该光源阵列装置连接,用以调整该多个LED灯组相对于该基座的位置;该反光罩设置于该基座下方,用以反射该多个LED灯组发出的光线,本实用新型公开的光源系统是具有模块化的特点,而可快速、方便地替代现有技术曝光机光源,并达到提高现有技术曝光机光照度均匀性的效果。
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机的光源系统,其可提供曝光制程所需的光源 (例如紫外光),而为曝光机上的一种模块组件;或亦可作为传统曝光机的替代光源模块。
背景技术
请参照图1,其为现有技术曝光机的曝光光源的结构示意图。
现有技术曝光机的曝光光源包含一灯箱101及装设于该灯箱中的一UV灯管102。于现有技术中,该UV灯管102采用金属卤素曝光灯管,以对曝光机的照射面提供紫外光。
然而,现有技术曝光机的曝光光源存在下列缺失:首先,该UV灯管102 所采用的金属卤素曝光灯管,其平均寿命仅有1000-1200小时,相对寿命较短,因而需要频繁的更换,致使提高工厂采购成本。其次,采用金属卤素曝光灯管的该UV灯管102的光电转换效率不佳,耗电量大,不仅提高了使用成本还存在耗能的缺点。再者,采用金属卤素曝光灯管的该UV灯管102于使用时,产生的热能易快速累积而导致周遭升温,且底片涨缩值大,随着环境温度越高,底片受的影响就越大,进而在制程上产生误差度,因而不利于曝光的精度。更甚者,金属卤素曝光灯管衰减快,因此使用一段时间之后,该UV灯管 102对曝光机的照射面提供的照度与均匀度就不足了,故需要经常性地检修维护及汰换该UV灯管102,致使生产效率的降低。另一方面,金属卤素曝光灯管无论制造过程与废弃皆存在有污染的问题,而具有不环保的缺点。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的一目的在于提供一种模块化而可快速替代现有技术曝光机光源的光源系统。
本实用新型的另一目的在于提供一种可调整光源出光角度而优化曝光机照射面上的光照度均匀性的光源系统。
本实用新型的再一目的在于解决现有技术曝光机光源采用金属卤素曝光灯管而产生寿命短、光电转换效率不佳、耗电量大及不环保等缺失。
为达上述目的及其它目的,本实用新型公开一种曝光机的光源系统,用于提供光源至一照射面,包含一基座、一光源阵列装置、一光源调整装置及一反光罩;该基座是供可拆地安装至曝光机上;该光源阵列装置设置于该基座上,该光源阵列装置包括以行列排列而成的多个排LED灯组;该光源调整装置与该光源阵列装置连接,用以调整该多个LED灯组相对于该基座的位置;该反光罩设置于该基座下方,用以反射该多个LED灯组发出的光线。
于本实用新型的一实施例中,该光源阵列装置包括并排形成该多个LED灯组的多个条型灯座,每一条型灯座上线性排列有二个以上LED灯板。
于本实用新型的一实施例中,位于各该条型灯座二端的LED灯板是以照射方向朝外的方式倾斜配置。
于本实用新型的一实施例中,各该条型灯座二端分别具有一倾斜部,各该倾斜部具有面朝外的倾斜面,各该LED灯板设置于该倾斜面上。
于本实用新型的一实施例中,位于各该条型灯座二端有至少一个LED灯板是以照射方向与该照射面呈7-13度的夹角的方式倾斜配置。
于本实用新型的一实施例中,各该LED灯板前设置有一透镜组。
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