[实用新型]一种硅片插片用硅片缓冲装置有效
| 申请号： | 201820010492.6 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207719228U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张志康;吴洋洋;丁贵英 | 申请（专利权）人： | 江西宝群电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330000 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 缓冲装置 插片 提升模 本实用新型 硅片输送带 插片机 插入片 橡胶垫 合格率 不可恢复 升降电机 丝杆传动 提升平台 动能 划片 进片 模组 内壁 碰触 损害 吸收 | ||
1.一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括插片机机架（1）、硅片输送带（2）、提升模组（3）、升降电机（301）、丝杆传动模组（302）、提升平台（303）、片篮（4）、硅片缓冲模组（5）；其特征在于：插片机机架（1）上一侧安装有硅片输送带（2），硅片输送带（2）一侧设有提升模组（3），提升模组（3）固定于插片机机架（1）上，提升模组（3）由升降电机（301）、丝杆传动模组（302）、提升平台（303）组成，升降电机（301）与丝杆传动模组（302）同轴连接，丝杆传动模组（302）与提升平台（303）连接，片篮（4）固定于提升平台（303）上，提升模组（3）一侧设有硅片缓冲模组（5），硅片缓冲模组（5）安装于插片机机架（1）上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，所述硅片缓冲模组（5）包括支架（501）、气缸座（502）、安装板（503）、缓冲垫支架（504）、第一缓冲垫（505）、连接板（506）、限位块（507）、第二缓冲垫（508）、滑轨（509）、气缸（510）；其特征在于：气缸（510）通过气缸座（502）固定于支架（501）上，气缸（510）内的活塞杆与连接板（506）一端连接，连接板（506）另一端与安装板（503）连接，支架（501）上设有滑轨（509），安装板（503）与滑轨（509）活动连接，滑轨（509）一端设有限位块（507），限位块（507）固定于支架（501）上，限位块（507）上安装有第二缓冲垫（508），缓冲垫支架（504）安装于安装板（503）上，缓冲垫支架（504）上安装有第一缓冲垫（505）。
3.根据权利要求2所述的一种硅片插片用硅片缓冲装置，其特征在于：所述第一缓冲垫（505）表面与水平面成95度夹角。
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