[实用新型]一种硅片插片用硅片缓冲装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入片篮时容易和片篮的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失。本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置，其中：插片机机架上一侧安装有硅片输送带，硅片输送带一侧设有提升模组，提升模组固定于插片机机架上，提升模组由升降电机、丝杆传动模组、提升平台组成。本装置采用增加硅片缓冲装置的方式，使硅片插进片篮中先与缓冲装置中的橡胶垫接触，橡胶垫能很好的吸收硅片插入片篮时的动能，有效的保护了硅片，提高了硅片的合格率。

技术领域

本实用新型涉及硅片插片机技术领域，尤其是一种硅片插片用硅片缓冲装置。

背景技术

硅片由分片机分片之后再由插片机插入片篮中，在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入片篮时容易和片篮的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失，存在不足。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种硅片插片用硅片缓冲装置，为克服上述的不足，采用增加硅片缓冲装置的方式，使硅片插进片篮中先与缓冲装置中的橡胶垫接触，橡胶垫能很好的吸收硅片插入片篮时动能，待硅片的动能大部分释放完后移开缓冲装置，此时片篮对硅片所造成的损害就降低到了最小，硅片崩片和划片情况也就减小了发生的概率，有效的保护了硅片，提高了硅片的合格率。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括插片机机架、硅片输送带、提升模组、升降电机、丝杆传动模组、提升平台、片篮、硅片缓冲模组；其中：插片机机架上一侧安装有硅片输送带，硅片输送带一侧设有提升模组，提升模组固定于插片机机架上，提升模组由升降电机、丝杆传动模组、提升平台组成，升降电机与丝杆传动模组同轴连接，丝杆传动模组与提升平台连接，片篮固定于提升平台上，提升模组一侧设有硅片缓冲模组，硅片缓冲模组安装于插片机机架上。

一种硅片插片用硅片缓冲装置，所述硅片缓冲模组包括支架、气缸座、安装板、缓冲垫支架、第一缓冲垫、连接板、限位块、第二缓冲垫、滑轨、气缸；其中：气缸通过气缸座固定于支架上，气缸内的活塞杆与连接板一端连接，连接板另一端与安装板连接，支架上设有滑轨，安装板与滑轨活动连接，滑轨一端设有限位块，限位块固定于支架上，限位块上安装有第二缓冲垫，缓冲垫支架安装于安装板上，缓冲垫支架上安装有第一缓冲垫。

一种硅片插片用硅片缓冲装置，其中：所述第一缓冲垫表面与水平面成95度夹角。

本实用新型的优点在于：本装置采用增加硅片缓冲装置的方式，使硅片插进片篮中先与缓冲装置中的橡胶垫接触，橡胶垫能很好的吸收硅片插入片篮时的动能，待硅片的动能大部分释放完后移开缓冲装置，此时片篮对硅片所造成的损害就降低到了最小，硅片崩片和划片情况也就减小了发生的概率，有效的保护了硅片，提高了硅片的合格率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的硅片缓冲模组结构示意图。

附图标记：插片机机架1、硅片输送带2、提升模组3、升降电机301、丝杆传动模组302、提升平台303、片篮4、硅片缓冲模组5、支架501、气缸座502、安装板503、缓冲垫支架504、第一缓冲垫505、连接板506、限位块507、第二缓冲垫508、滑轨509、气缸510。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。