[实用新型]一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置有效
| 申请号： | 201820015361.7 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207719229U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 庞恒强 | 申请（专利权）人： | 庞恒强 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 刘玉欣 |
| 地址： | 157400 黑龙江省*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 侧面设置 钝化 热氧 管式镀膜 水平式炉 进气管 装料站 抽排系统 气体系统 电池 截止阀 退火 本实用新型 界面态密度 顶部设置 开路电压 内部设置 能源消耗 气体管道 正面设置 转换效率 操作板 单向阀 硅片 结区 气柜 吸杂 阻挡 复合 扩散 | ||
1.一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站(1)，所述装料站(1)的正面设置有操作板(2)，所述装料站(1)的侧面设置有抽排系统(3)，所述抽排系统(3)的侧面设置有水平式炉体(4)，所述水平式炉体(4)的顶部设置有气柜(5)，其特征在于：所述水平式炉体(4)的内部设置有气体系统(6)，所述气体系统(6)包括第一进气管(7)，所述第一进气管(7)的侧面设置有截止阀(8)，所述截止阀(8)的侧面设置有单向阀(9)，所述第一进气管(7)的一端设有分支(10)，所述分支(10)的数量为两个，两个所述分支(10)上设置有质量流量计(11)和配量阀(12)，所述第一进气管(7)远离单向阀(9)的一端安装有气动双阀组箱(13)，所述第一进气管(7)与第二进气管(14)连通，所述第二进气管(14)与上安装有质量流量计(11)，所述质量流量计(11)的两侧分别安装有气动双阀组箱(13)，所述第二进气管(14)远离第一进气管(7)的一端连通有第三进气管(15)，所述第三进气管(15)上安装有气动阀(16)，所述气动阀(16)的侧面安装有质量流量计(11)。
2.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第一进气管(7)、第二进气管(14)与第三进气管(15)入口一端均安装有截止阀(8)和单向阀(9)。
3.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)与第一进气管(7)连通处安装有从第一进气管(7)流向第二进气管(14)的单向阀(9)。
4.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)与第三进气管(15)在远离入口处的一端连通，所述第三进气管(15)与第一进气管(7)连通，所述第一进气管(7)出气的一端安装有过滤器(17)。
5.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)的出口连通有真空泵。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
