[实用新型]一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站，所述装料站的正面设置有操作板，所述装料站的侧面设置有抽排系统，所述抽排系统的侧面设置有水平式炉体，所述水平式炉体的顶部设置有气柜，所述水平式炉体的内部设置有气体系统，所述气体系统包括第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有截止阀，所述截止阀的侧面设置有单向阀，所述第一进气管的一端设有分支。该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压,有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体为一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置。

背景技术

目前，晶硅PERC太阳电池的生产工艺包括：制绒，扩散，去背结和PSG，背面钝化，正面制作减反射膜，丝印烧结。其中，钝化是太阳电池发电的关键步骤，因此钝化的特性好坏直接影响着电池的光电转换效率。普通PERC电池仅在背面制作钝化层，其转换效率受到一定限制。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，具备退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散等优点，解决了目前PERC电池钝化不完全的问题。

(二)技术方案

为实现上述一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置退火、吸杂及阻挡杂质向硅片的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站，所述装料站的正面设置有操作板，所述装料站的侧面设置有抽排系统，所述抽排系统的侧面设置有水平式炉体，所述水平式炉体的顶部设置有气柜，所述水平式炉体的内部设置有气体系统，所述气体系统包括第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有截止阀，所述截止阀的侧面设置有单向阀，所述第一进气管的一端设有分支，所述分支的数量为两个，两个所述分支上设置有质量流量计和配量阀，所述第一进气管远离单向阀的一端安装有气动双阀组箱，所述第一进气管与第二进气管连通，所述第二进气管与上安装有质量流量计，所述质量流量计的两侧分别安装有气动双阀组箱，所述第二进气管远离第一进气管的一端连通有第三进气管，所述第三进气管上安装有气动阀，所述气动阀的侧面安装有质量流量计。

优选的，所述第一进气管、第二进气管与第三进气管入口一端均安装有截止阀和单向阀。

优选的，所述第二进气管与第一进气管连通处安装有从第一进气管流向第二进气管的单向阀。

优选的，所述第二进气管与第三进气管在远离入口处的一端连通，所述第三进气管与第一进气管连通，所述第一进气管出气的一端安装有过滤器。

优选的，所述第二进气管的出口连通有真空泵。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，具备以下有益效果：

1、该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压, 有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型气体系统结构示意图。

图中：1装料站、2操作板、3抽排系统、4水平式炉体、5气柜、6气体系统、7第一进气管、8截止阀、9单向阀、10分支、11质量流量计、12配量阀、13气动双阀组箱、14第二进气管、15第三进气管、16气动阀、17过滤器。