[实用新型]一种气体供应系统

权利要求书

1.一种气体供应系统，其特征在于，包括第一工作管路（1），所述第一工作管路（1）的一端设置第一吹扫气体入口（2），所述第一工作管路（1）上依次设置有第一阀体（3）、第二阀体（4）、第三阀体（5）、第四阀体（6），第一过滤器（23）和第一供气阀（24），所述第一工作管路（1）外侧依次设置有第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）和第三旁通管路（9），所述第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）与第一工作管路（1）的连接端分别位于第二阀体（4）和第三阀体（5）之间，所述第一旁通管路（7）连接第一钢瓶（10），所述第二旁通管路（8）上设置第五阀体（11），所述第三旁通管路（9）上依次设置第六阀体（12）和第七阀体（13），所述第二旁通管路（8）、第三旁通管路（9）的汇合处设置有第八阀体（14），所述第八阀体（14）连接吹扫气体出口（18）。

2.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，所述第八阀体（14）外侧连接并设置有真空排放管路（16），所述真空排放管路（16）一端设置第二吹扫气体入口（17），所述吹扫气体出口（18）位于真空排放管路（16）的另一端，所述真空排放管路（16）上依次设置有第九阀体（19）和真空产生器（20），所述第八阀体（14）与真空排放管路（16）的连接端位于第九阀体（19）和真空产生器（20）之间。

3.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一工作管路（1）外侧设置第二工作管路（25），所述第二工作管路（25）的一端与第一吹扫气体入口（2）连接，所述第二工作管路（25）上依次设置有第十阀体（26）、第十一阀体（27）、第十二阀体（28）、第十三阀体（29）、第二过滤器（30）和第二供气阀（31），所述第二工作管路（25）外侧依次设置有第四旁通管路（32），第五旁通管路（33）和第六旁通管路（34），所述第四旁通管路（32）、第五旁通管路（33）与第二工作管路（25）的连接端分别位于第十一阀体（27）和第十二阀体（28）之间，所述第四旁通管路（32）连接第二钢瓶（35），所述第五旁通管路（33）上设置有第十四阀体（36），所述第六旁通管路（34）上依次设置第十五阀体（37）和第十六阀体（38），所述第五旁通管路（33）与第六旁通管路（34）的汇合处连接第八阀体（14）。

4.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述吹扫气体为高纯氮。

5.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一阀体（3）与第一吹扫气体入口（2）之间还设置有第一微漏阀（21）。

6.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第二吹扫气体入口（17）与第九阀体（19）之间设置有第二微漏阀（22）。

7.如权利要求1或2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第一阀体（3）、第六阀体（12）分别为单向阀。

8.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，所述第九阀体（19）为单向阀。

9.如权利要求3所述的气体供应系统，其特征在于，所述第十阀体（26）、第十五阀体（37）分别为单向阀。