[实用新型]一种气体供应系统

说明书

本实用新型公开了一种气体供应系统，包括第一工作管路，第一工作管路的一端设置第一吹扫气体入口，第一工作管路上依次设置有第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体，第一过滤器和第一供气阀，第一工作管路外侧依次设置有第一旁通管路、第二旁通管路和第三旁通管路，第一旁通管路、第二旁通管路与第一工作管路的连接端分别位于第二阀体和第三阀体之间，第一旁通管路连接第一钢瓶，第二旁通管路上设置第五阀体，第三旁通管路上依次设置第六阀体和第七阀体，第二旁通管路、第三旁通管路的汇合处设置有第八阀体，第八阀体连接吹扫气体出口。本实用新型气体供应系统设置真空排放管路，使得吹扫气体出口位置处于负压状态，保证工作管路的洁净。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体供应设备技术领域，尤其涉及一种气体供应系统。

背景技术

在半导体、光伏相关产业中需要用到许多特殊气体，如硅烷，有毒、可燃，危害性相当大。这些特殊气体在使用过程中为钢瓶包装，在工厂运转过程中需要不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的空钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换结束后，需要采用高纯氮气进行吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管路中的空气、水分和微小的颗粒，避免对气体管路和钢瓶造成污染，影响产品的质量。

因此，在上述特殊气体供应系统中有必要设置气体吹扫系统，现有的气体吹扫系统在吹扫结束后，气体直接排放。由于直接排放时排放气体压力过大会导致气体回流，部分空气进入管路，造成管路及阀门的损坏和污染，缩短了设备的使用寿命。

实用新型内容

为了解决现有气体供应系统所设置的气体吹扫系统在吹扫结束后气体直接排放导致管路及阀门损坏的问题，本实用新型的目的是提供一种气体供应系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种气体供应系统，包括第一工作管路，所述第一工作管路的一端设置第一吹扫气体入口，所述第一工作管路上依次设置有第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体，第一过滤器和第一供气阀，所述第一工作管路外侧依次设置有第一旁通管路、第二旁通管路和第三旁通管路，所述第一旁通管路、第二旁通管路与第一工作管路的连接端分别位于第二阀体和第三阀体之间，所述第一旁通管路连接第一钢瓶，所述第二旁通管路上设置第五阀体，所述第三旁通管路上依次设置第六阀体和第七阀体，所述第二旁通管路、第三旁通管路的汇合处设置有第八阀体，所述第八阀体连接吹扫气体出口。

通过第一吹扫气体入口向第一工作管路吹入高纯氮，此时保持第一阀体、第二阀体、第三阀体打开，第四阀体、第五阀体、第六阀体、第七阀体、第八阀体关闭，至高纯氮充满整个工作管路；关闭第一阀体、第二阀体和第三阀体，打开第五阀体和第八阀体，第一工作管路中的吹扫气体进行第一次排放，经第五阀体和第八阀体至吹扫气体出口排出；关闭第五阀体，同时打开第六阀体和第七阀体，第一工作管路中的吹扫气体进行第二次排放，经第六阀体、第七阀体、第八阀体至吹扫气体出口排出。

第一工作管路中的吹扫气体经过两次排放，避免一次性排放带来排放压力过大，导致气体回流。

第一工作管路经吹扫后，关闭第五阀体、第六阀体、第七阀体和第八阀体，打开第三阀体、第四阀体和第一钢瓶上的阀门，第一钢瓶内的气体经第一过滤器过滤后进入第一供气阀，用于实际生产中使用。

优选的是，所述第八阀体外侧连接并设置有真空排放管路，所述真空排放管路一端设置第二吹扫气体入口，所述吹扫气体出口位于真空排放管路的另一端，所述真空排放管路上依次设置有第九阀体和真空产生器，所述第八阀体与真空排放管路的连接端位于第九阀体和真空产生器之间。

通过在第八阀体外侧设置真空排放管路，使得吹扫气体出口处于负压状态，避免外界空气、颗粒物等进入，保证第一工作管路的洁净。