[实用新型]基板对位检测装置

权利要求书

1.一种基板对位检测装置，其特征在于，包括：

检测机构，所述检测机构包括：

多个支撑部件，所述多个支撑部件沿待检测卡夹的长度方向均匀地对称布置于所述待检测卡夹的两侧；

多个第一检测部件，所述多个第一检测部件分别设置于所述多个支撑部件上，用于检测所述待检测卡夹内放置的基板；

以及

移动机构，所述移动机构带动所述多个支撑部件在初始位置和检测位置之间移动，以使所述多个支撑部件和所述多个第一检测部件远离或靠近所述待检测卡夹内的所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述第一检测部件为光感传感器。

3.根据权利要求1所述的基板对位检测装置，其特征在于，各个所述第一检测部件分别与所述待检测卡夹的各层容纳层对应设置。

4.根据权利要求1所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述支撑部件包括支撑杆和安装杆，所述支撑杆竖直设置并与所述移动机构连接，所述安装杆水平设置于所述支撑杆上且其一端朝向所述待检测卡夹设置；所述第一检测部件固定于所述安装杆朝向所述待检测卡夹的一端。

5.根据权利要求1所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述移动机构包括导轨和伺服马达，所述支撑部件可移动地设置于所述导轨上，所述伺服马达与所述支撑部件连接并带动所述支撑部件在所述导轨上的所述初始位置和所述检测位置之间移动。

6.根据权利要求5所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述伺服马达的转轴通过丝杠与所述支撑部件连接。

7.根据权利要求5或6所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述伺服马达由PLC上位机控制。

8.根据权利要求5所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述移动机构包括第二检测部件和第三检测部件，所述第二检测部件设置于所述导轨上的所述初始位置，用于检测所述支撑部件是否到达所述初始位置，所述第三检测部件设置于所述导轨上的所述检测位置，用于检测所述支撑部件是否到达所述检测位置。

9.根据权利要求8所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述移动机构还包括第四检测部件和第五检测部件，所述第四检测部件设置于所述导轨上的所述初始位置的极限位置，用于检测所述支撑部件是否到达所述初始位置的极限位置，所述第五检测部件设置于所述导轨上的所述检测位置的极限位置，用于检测所述支撑部件是否到达检测所述检测位置的极限位置。

10.根据权利要求1所述的基板对位检测装置，其特征在于，所述检测位置与所述待检测卡夹的边缘具有间隙。