[实用新型]一种提高LED可靠度的清洗装置有效
| 申请号： | 201820022613.9 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207690767U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 邵先喜;赵先华 | 申请（专利权）人： | 广东晶得光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/62 |
| 代理公司： | 中山市科企联知识产权代理事务所(普通合伙) 44337 | 代理人： | 杨立铭 |
| 地址： | 528400 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 料盒 引线框架 反应腔体 清洗 等离子清洗 清洗装置 放置架 放置位 可靠度 本实用新型 清洁效果 清洗效率 相对两侧 槽形成 反应腔 开口端 可开合 密封门 内侧壁 前端口 水平摆 后壁 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高LED可靠度的清洗装置，其特征在于，包括反应腔体、位于所述反应腔体后壁位的等离子清洗仓、安装在所述反应腔体前端口的可开合的密封门、安装在所述反应腔体内的料盒放置架和安装在所述料盒放置架上的用于放置引线框架的料盒；
所述料盒放置架的前、后端面为敞开设置，其前端面朝向所述密封门，后端面朝向所述等离子清洗仓的开口端；所述料盒放置架上并排放置有多个料盒，所述料盒为条形，其前、后端面为敞开设置，其前端朝向所述密封门，后端朝向所述等离子清洗仓的开口端；在所述料盒的左右相对两侧的内侧壁面上相对设有多条从料盒前端至后端水平延伸的卡槽，两侧一一相对的卡槽形成用于放置引线框架的放置位，将引线框架的两侧从相应的所述卡槽插入，使引线框架水平摆放在放置位上，引线框架的清洗端朝向所述等离子清洗仓的开口端。
2.根据权利要求1所述的提高LED可靠度的清洗装置，其特征在于，所述料盒放置架为至少两层设置，每层上并排放置多个所述料盒。
3.根据权利要求1所述的提高LED可靠度的清洗装置，其特征在于，所述密封门上设有观察窗。
4.根据权利要求1所述的提高LED可靠度的清洗装置，其特征在于，所述反应腔体内尺寸为：宽672mm，深424mm，高474mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
