[实用新型]准分子激光用波长检测装置

权利要求书

1.一种准分子激光用波长检测装置，其特征在于，所述准分子激光用波长检测装置包括：

密闭的壳体，其内部收容有校准具；

加热器，其配置在所述壳体的外壁上，对所述壳体内部的温度进行调节；其中所述加热器覆盖所述壳体的外壁的至少三个面；

温度传感器，其对所述壳体内部的温度进行测量；以及

温度控制器，其根据所述温度传感器测量出的温度，对所述加热器进行控制。

2.根据权利要求1所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述加热器为能够自如弯曲的橡胶加热器。

3.根据权利要求1所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述加热器覆盖所述壳体的外壁的四个面。

4.根据权利要求3所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述准分子激光用波长检测装置还包括：

扩散板，其对输入的激光进行扩散；以及

透镜，其对经过所述校准具的所述激光进行输出。

5.根据权利要求4所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述壳体具有配置了所述扩散板的第一面以及配置了所述透镜的第二面；所述第一面和所述第二面不被所述加热器覆盖。

6.根据权利要求1所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述校准具包括：

第一校准具，其具有第一测量精度；以及

第二校准具，其具有比所述第一测量精度高的第二测量精度。

7.根据权利要求6所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述加热器覆盖所述壳体的外壁的三个面。

8.根据权利要求7所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述准分子激光用波长检测装置还包括：

扩散板，其对输入的激光进行扩散；

第一透镜，其对经过所述第一校准具的所述激光进行输出；以及

第二透镜，其对经过所述第二校准具的所述激光进行输出。

9.根据权利要求8所述的准分子激光用波长检测装置，其中，所述壳体具有配置了所述扩散板的第一面、配置了所述第一透镜的第二面以及配置了所述第二透镜的第三面；所述第一面、所述第二面和所述第三面不被所述加热器覆盖。