[实用新型]准分子激光用波长检测装置

说明书

本实用新型提供一种准分子激光用波长检测装置，包括：密闭的壳体，其内部收容有校准具；加热器，其配置在所述壳体的外壁上，对所述壳体内部的温度进行调节；其中所述加热器覆盖所述壳体的外壁的至少三个面；温度传感器，其对所述壳体内部的温度进行测量；以及温度控制器，其根据所述温度传感器测量出的温度，对所述加热器进行控制。由此，加热器能够从壳体的周围对壳体均匀地加热，减少或避免壳体内部的温度不稳定的情况，从而保持或提高壳体内部的校准具的测量精度，减少或避免测量值出现误差的情况。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种准分子激光用波长检测装置。

背景技术

伴随着半导体集成电路的细微化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨率。以下将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的波长在变短。在曝光用光源中代替现有的水银灯而使用了气体激光装置。例如，使用输出波长248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长193nm的紫外线的ArF准分子激光装置，作为曝光用的气体激光装置。

应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

发明人发现：在壳体内收容有校准具的准分子激光用波长检测装置中，一般在壳体的外壁的某一面配置平板状的加热器来对壳体内的温度进行控制。但是，由于没有配置加热器的外壁表面被暴露在环境温度下，因此如果环境温度发生变化，则从外壁表面逸出的热量发生变化，壳体内部的温度变得不稳定。另外，由于仅在某一面对壳体进行单向加热，壳体内部的温度会发生不均匀的现象。

因此，目前准分子激光用波长检测装置中壳体内部的温度会出现不稳定的情况，壳体内部的校准具会受到温度变化的影响，从而导致测量值出现误差。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种准分子激光用波长检测装置；加热器覆盖壳体的外壁的至少三个面，温度传感器对所述壳体内部的温度进行测量，并且温度控制器根据所述温度传感器测量出的温度对所述加热器进行控制。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供了一种准分子激光用波长检测装置，包括：

密闭的壳体，其内部收容有校准具；

加热器，其配置在所述壳体的外壁上，对所述壳体内部的温度进行调节；其中所述加热器覆盖所述壳体的外壁的至少三个面；

温度传感器，其对所述壳体内部的温度进行测量；以及

温度控制器，其根据所述温度传感器测量出的温度，对所述加热器进行控制。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述加热器为能够自如弯曲的橡胶加热器。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述加热器覆盖所述壳体的外壁的四个面。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述准分子激光用波长检测装置还包括：

扩散板，其对输入的激光进行扩散；以及

透镜，其对经过所述校准具的所述激光进行输出。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述壳体具有配置了所述扩散板的第一面以及配置了所述透镜的第二面；所述第一面和所述第二面不被所述加热器覆盖。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述校准具包括：

第一校准具，其具有第一测量精度；以及

第二校准具，其具有比所述第一测量精度高的第二测量精度。