[实用新型]一种干法制绒设备工艺反应腔有效

专利信息
申请号: 201820047648.8 申请日: 2018-01-11
公开(公告)号: CN207731943U 公开(公告)日: 2018-08-14
发明(设计)人: 朱海剑;庄正军;丁建宁;袁宁一;王书博;上官泉元 申请(专利权)人: 常州比太黑硅科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10
代理公司: 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 代理人: 张红;程立民
地址: 213164 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 上盖 设备工艺 有效控制 反应腔 腔室 腔体 侧向 底板 隔板 本实用新型 独立开关 加工周期 上盖结构 真空环境 支撑作用 中间隔板 转动连接 传统的 工艺槽 连接轴 侧板 盖体 制作 连通 变形 并列 掀开 体内 加工
【权利要求书】:

1.一种干法制绒设备工艺反应腔,其特征在于,包括:

腔体,所述腔体由四个侧板和一个底板围成,并由设置在所述腔体内的隔板将所述腔体分为两个连通的腔室;

两个上盖,分别通过连接轴转动连接至对应两个所述腔室的上方,以通过所述连接轴分别实现两个所述上盖的单独侧向掀开;

所述上盖的盖体上加工有多道并列的工艺槽。

2.根据权利要求1所述的一种干法制绒设备工艺反应腔,其特征在于,两个所述腔室对应所述上盖的一侧分别设置有一圈开设于侧板及所述隔板上的密封槽,所述密封槽内设置有耐腐蚀耐高温材质的密封圈。

3.根据权利要求2所述的一种干法制绒设备工艺反应腔,其特征在于,所述上盖对应所述腔体的一侧设置有一圈台阶平面,所述台阶平面与对应腔室侧板及隔板上的密封圈贴合形成密封腔室。

4.根据权利要求1所述的一种干法制绒设备工艺反应腔,其特征在于,所述腔体的侧板及底板下侧两端均设置有加强板。

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