[实用新型]一种干法制绒设备工艺反应腔有效
申请号: | 201820047648.8 | 申请日: | 2018-01-11 |
公开(公告)号: | CN207731943U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 朱海剑;庄正军;丁建宁;袁宁一;王书博;上官泉元 | 申请(专利权)人: | 常州比太黑硅科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 张红;程立民 |
地址: | 213164 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上盖 设备工艺 有效控制 反应腔 腔室 腔体 侧向 底板 隔板 本实用新型 独立开关 加工周期 上盖结构 真空环境 支撑作用 中间隔板 转动连接 传统的 工艺槽 连接轴 侧板 盖体 制作 连通 变形 并列 掀开 体内 加工 | ||
本实用新型公开了一种干法制绒设备工艺反应腔,包括:由四个侧板和一个底板围成的腔体,并通过设置在腔体内的隔板将腔体分为两个连通的腔室;两个分别通过连接轴转动连接至对应两个腔室上方并可单独侧向掀开的上盖;上盖由一体的盖体上加工多道并列的工艺槽。该实用新型采用双上盖结构,用两件独立开关的上盖代替传统的一件大尺寸上盖,有效控制了上盖的制作成本和加工周期;且由于中间隔板的支撑作用,两件小尺寸上盖可以具有比单个大尺寸上盖更小的厚度,有效控制了上盖在真空环境下的变形,进一步降低了制作及使用成本。
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制备技术领域,特别涉及一种硅基电池片干法制绒设备工艺反应腔。
背景技术
由于市场上标准铝板毛坯尺寸的限制,如果干法制绒设备工艺反应腔只是传统的采用一件上盖,针对高产能干法制绒设备的工艺腔,其上盖必须专门定制大尺寸铝料毛坯,成本会比市场上常用尺寸铝料大幅上升,而且加工周期也大幅延长。
同时,针对单件大尺寸上盖,在真空环境下需要很大尺寸的上盖厚度才能将上盖的变形控制在合理范围内,因此进一步增大了上盖的制作难度及制作成本。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种干法制绒设备工艺反应腔,包括:
腔体,所述腔体由四个侧板和一个底板围成,并由设置在所述腔体内的隔板将所述腔体分为两个连通的腔室;
两个上盖,分别通过连接轴转动连接至对应两个所述腔室的上方,以通过所述连接轴分别实现两个所述上盖的单独侧向掀开;
所述上盖的盖体上加工有多道并列的工艺槽。
进一步的,为了实现所述上盖与腔体的紧密结合,两个所述腔室对应所述上盖的一侧分别设置有一圈开设于侧板及所述隔板上的密封槽,所述密封槽内设置有耐腐蚀耐高温材质的密封圈;所述上盖对应所述腔体的一侧设置有一圈高精度台阶平面,所述台阶平面与对应腔室侧板及隔板上的密封圈贴合形成密封腔室。
进一步的,为了增强腔体的机械强度,所述腔体的侧板及底板下侧两端均设置有加强板。
通过上述技术方案,本实用新型具有如下优点:
①双上盖结构设计,用两件独立开关的上盖代替传统的一件大尺寸大厚度上盖,解决了由于一件上盖尺寸过大而市场上没有合适尺寸铝料的问题,有效的控制了上盖的制作成本和加工周期;
②双上盖结构,两件上盖通过腔体中间的隔板和四周侧板实现密封且均可独自实现开盖,且由于腔体中间隔板的支撑作用,两件小尺寸上盖可以具有比传统单个大尺寸上盖更小的厚度,有效的控制了上盖在真空环境下的变形,进一步的降低了制作及使用成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例所公开的工艺反应腔立体结构示意图;
图2为本实用新型实施例所公开的上盖立体结构示意图;
图3为图1中A部放大结构示意图。
图中数字表示:
10.侧板 11.底板 20.隔板
30.连接轴 40.上盖 41.盖体
42.工艺槽 50.加强板 60.密封槽
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的