[实用新型]一种旋转式硅片花篮输送装置

权利要求书

1.一种旋转式硅片花篮输送装置，包括金属垫圈、聚氨酯减震材料、六角形支柱、悬臂销、惰轮、高扭矩同步带轮、高扭矩同步带轮、高扭矩同步齿形带、无油衬套、金属垫圈、圆线螺旋弹簧、滑块、滑轨、接近传感器、方形接近传感器、角接触球轴承、角接触球轴承、联轴器、薄型气爪、磁性开关、气缸、接近开关、磁石、步进电机、固定块、底板、底座、电机板、上旋转板、下旋转板、固定轴、隔套、旋转轴座、连接柱、气缸安装座、硬限位、限位块、传感器支座、传感器支座、感应片、传感器支座、固定块、固定块、固定板、旋转轴、隔套、第一安装板、第二安装板、安装座、导柱、垫片、夹爪、固定板；其特征在于：底座作为大底板，整个机构固定在其上，与底座直接联系的有六角形支柱、限位块、固定轴、传感器支座、传感器支座、接近传感器，六角形支柱上有电机板，电机板上有步进电机，第一旋转系统上有联轴器、旋转轴座、上旋转板、金属垫圈、角接触球轴承、隔套、高扭矩同步带轮、下旋转板与固定轴、保持同心配合，传动系统：高扭矩同步带轮通过高扭矩同步齿形带与高扭矩同步带轮连接实现同步带传动，高扭矩同步带轮驱动第二旋转系统，旋转轴下有角接触球轴承，角接触球轴承下有隔套，下面就是高扭矩同步带轮，其下又是隔套，再下面就是下旋转板，下旋转板里有角接触球轴承，下旋转板与第一安装板连接，第一安装板下有第二安装板，第二安装板与其下的薄型气爪连接，薄型气爪上左右均装有安装座，安装座里套有无油衬套，无油衬套内装有导柱，导柱外套有圆线螺旋弹簧，下边有垫片，薄型气爪下连接有夹爪，固定块与夹爪连接。