[实用新型]一种旋转式硅片花篮输送装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转式硅片花篮输送装置。现阶段工业在输送上面一个方向一般至少需要一个动力一个传动系统，而往往在插片机里需在满足产能前提下外形尽可能的迷你，现阶段插片机的外形尺寸一直减小不了，里面的空间也得不到充分的利用。本实用新型涉及一种旋转式硅片花篮输送装置，其中：底座作为大底板，整个机构固定在其上，与底座直接联系的有六角形支柱、限位块、固定轴、传感器支座、传感器支座、接近传感器，六角形支柱上有电机板，电机板上有步进电机。本装置采用特殊的一种旋转输送装置，可以实现点到点的输送并且不占多余的空间，以去除繁琐的机构装置，并能实现高产能的作业。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其是一种旋转式硅片花篮输送装置。

背景技术

在输送转移硅片花篮过程中，通常需要对花篮进行横向、纵向、垂直方向及翻转等动作以达到各种工位的位置要求；现阶段工业在输送上面一个方向一般至少需要一个动力一个传动系统，而往往在插片机里需在满足产能前提下外形尽可能的迷你，现阶段插片机的外形尺寸一直减小不了，里面的空间也得不到充分的利用。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种旋转式硅片花篮输送装置，为克服上述的不足，本装置采用特殊的一种旋转输送装置，可以实现点到点的输送并且不占多余的空间，以去除繁琐的机构装置，并能实现高产能的作业。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种旋转式硅片花篮输送装置，包括金属垫圈、聚氨酯减震材料、六角形支柱、悬臂销、惰轮、高扭矩同步带轮、高扭矩同步带轮、高扭矩同步齿形带、无油衬套、金属垫圈、圆线螺旋弹簧、滑块、滑轨、接近传感器、方形接近传感器、角接触球轴承、角接触球轴承、联轴器、薄型气爪、磁性开关、气缸、接近开关、磁石、步进电机、固定块、底板、底座、电机板、上旋转板、下旋转板、固定轴、隔套、旋转轴座、连接柱、气缸安装座、硬限位、限位块、传感器支座、传感器支座、感应片、传感器支座、固定块、固定块、固定板、旋转轴、隔套、第一安装板、第二安装板、安装座、导柱、垫片、夹爪、固定板；其中：底座作为大底板，整个机构固定在其上，与底座直接联系的有六角形支柱、限位块、固定轴、传感器支座、传感器支座、接近传感器，六角形支柱上有电机板，电机板上有步进电机，第一旋转系统上有联轴器、旋转轴座、上旋转板、金属垫圈、角接触球轴承、隔套、高扭矩同步带轮、下旋转板与固定轴、保持同心配合，传动系统：高扭矩同步带轮通过高扭矩同步齿形带与高扭矩同步带轮连接实现同步带传动，高扭矩同步带轮驱动第二旋转系统，旋转轴下有角接触球轴承，角接触球轴承下有隔套，下面就是高扭矩同步带轮，其下又是隔套，再下面就是下旋转板，下旋转板里有角接触球轴承，下旋转板与第一安装板连接，第一安装板下有第二安装板，第二安装板与其下的薄型气爪连接，薄型气爪上左右均装有安装座，安装座里套有无油衬套，无油衬套内装有导柱，导柱外套有圆线螺旋弹簧，下边有垫片，薄型气爪下连接有夹爪，固定块与夹爪连接。

本实用新型的优点在于：本装置采用特殊的一种旋转输送装置，可以实现点到点的输送并且不占多余的空间，以去除繁琐的机构装置，并能实现高产能的作业。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的A处剖视图。

图3为本实用新型中的B处剖视图。

图4为本实用新型的俯视图。