[实用新型]一种晶片自动清洗装置

权利要求书

1.一种晶片自动清洗装置，包括超声波机箱和清洗池，所述超声波机箱与所述清洗池固定连接，所述超声波机箱内设置有超声波发生器和超声波换能器，所述超声波发生器与所述超声波换能器连接，所述超声波机箱上还设置有控制面板，所述超声波发生器与超声波换能器与所述控制面板电连接；所述清洗池内设置有清洗框，其特征在于，所述清洗池的两侧壁上还相对设有一对轴承座，所述清洗框的两侧壁上相对设置有一对固定有连接轴的连接耳，所述连接耳与所述轴承座通过所述连接轴可转动连接；

所述清洗池的外侧还设置有一个伺服电机，所述伺服电机与超声波机箱分别位于所述清洗池的两侧，并且所述伺服电机的动力输出端与其中一个连接轴通过联轴器固定连接；

所述晶片自动清洗装置还包括4个晶片盛放篮，4个所述晶片盛放篮呈田字形放置在所述清洗框内。

2.如权利要求1所述的晶片自动清洗装置，其特征在于，所述清洗池还设置有顶盖，所述顶盖与所述清洗池的一个侧壁通过合页连接。

3.如权利要求1所述的晶片自动清洗装置，其特征在于，所述清洗池的底部还设置有出水口，所述出水口上安装有旋转阀。

4.如权利要求1所述的晶片自动清洗装置，其特征在于，所述晶片盛放篮的顶部还相对安装有一对提手。

5.如权利要求1所述的晶片自动清洗装置，其特征在于，所述清洗池的内径宽度为80cm，所述清洗框的宽度为60cm，所述晶片盛放篮的宽度为29.5cm。