[实用新型]一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置有效
| 申请号： | 201820128772.7 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN208293074U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人： | 株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀 夹具 角度夹具 本实用新型 夹具槽 盖子 固定部件 溅镀装置 上端 折弯 倾向性 均匀薄膜 罩子 电极 吸附 薄膜 暴露 | ||
1.一种溅镀夹具，其特征在于，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：
所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；
所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；
所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。
2.根据权利要求1所述的溅镀夹具，其特征在于，所述角度夹具包括从所述上端往内侧凹陷一定的深度，以插入并放置被溅镀物而形成的被溅镀物放置部，以及所述被溅镀物放置部延长线上的一定的位置上从所述上端向内凹陷后形成的把手端。
3.根据权利要求2所述的溅镀夹具，其特征在于，所述角度夹具的被溅镀物放置部形成时，未形成把手端的两侧端部上为保护被溅镀物避免溅镀物而形成的保护区域有互不相同的宽度。
4.一种溅镀装置，其特征在于，包括：
真空溅镀机；
设置于真空溅镀机的真空腔内，能够同时对多个被溅镀物进行溅镀蒸发源；
蒸发源上部设置用来固定被溅镀物的如权利要求1-3任一项所述的溅镀夹具；以及
可同时结合所述多个溅镀夹具的，使多个凹槽位于和溅镀蒸发源相同直线距离相同而制备的圆顶状的夹具固定装置。
5.根据权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于，所述溅镀夹具包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：
所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；
所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；
所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。
6.根据权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述角度夹具用以控制预倾角，从所述上端向内侧凹陷一定的深度，为插入并放置被溅镀物而形成的溅镀物放置部，以及在所述被溅镀物放置部的延长线上的一定位置从所述上端向内凹陷而形成的把手端。
7.根据权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于，所述被溅镀物放置部形成时，未形成把手端的两侧端部为了保护被溅镀物避免溅镀物而形成的保护区域的宽度互不相同。
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