[实用新型]一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置

说明书

本实用新型提供了一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。本实用新型不仅能在被溅镀物的表面上一次形成均匀薄膜，还能利用为具有特定倾向性而折弯成任意角度的2个相对的面的夹具，形成具有特定倾向的薄膜。本实用新型能够使被溅镀物的电极部分免被溅镀物涂布，无需在被溅镀物上另设罩子。

技术领域

本实用新型涉及溅镀领域，具体地，涉及一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置。更详细地，涉及一种用以制造硅基液晶面板的溅镀装置及用以控制预倾角的溅镀夹具。

背景技术

真空溅镀是利用持续高温的蒸发源和持续低温的被溅镀物表面之间的饱和蒸汽压之差，使金属或化合物在高真空下蒸发，该蒸汽在被溅镀物表面释放后形成薄膜的一种表面处理法，因具有任何物质都可进行溅镀的优势，故广为运用于众多领域。

一般真空溅镀所具有的结构是，为了同时对多个被溅镀物进行溅镀，在真空溅镀机的真空腔内设有溅镀源，在其上部安装用来固定被溅镀物的夹具，用电阻或激光束照射使所述蒸发源发热，蒸汽散发后沉积于被溅镀物上。

因此，为了在多个被溅镀物的表面均匀地形成薄膜以及为了形成满足特定目的的薄膜，各式各样的夹具正在开发并供应，并且为了制造更有效的夹具，正在进行更多的研究和开发。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置。

根据本实用新型提供的一种溅镀夹具，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：

所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；

所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；

所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。

优选地，所述角度夹具包括从所述上端往内侧凹陷一定的深度，以插入并放置被溅镀物而形成的被溅镀物放置部，以及所述被溅镀物放置部延长线上的一定的位置上从所述上端向内凹陷后形成的把手端。

优选地，所述角度夹具的被溅镀物放置部形成时，未形成把手端的两侧端部上为保护被溅镀物避免溅镀物而形成的保护区域有互不相同的宽度。

根据本实用新型提供的一种溅镀装置，包括：真空溅镀机；设置于真空溅镀机的真空腔内，能够同时对多个被溅镀物进行溅镀蒸发源；

蒸发源上部设置用来固定被溅镀物的溅镀夹具；以及可同时结合所述多个溅镀夹具的，使多个凹槽位于和溅镀蒸发源相同直线距离相同而制备的圆顶状的夹具固定装置。

优选地，所述溅镀夹具包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：

所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；

所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；

所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。

优选地，所述用以控制预倾角的溅镀夹具的角度夹具，从所述上端向内侧凹陷一定的深度，为插入并放置被溅镀物而形成的溅镀物放置部，以及在所述被溅镀物放置部的延长线上的一定位置从所述上端向内凹陷而形成的把手端。