[实用新型]电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件有效
| 申请号： | 201820170740.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN207933521U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张星 | 申请（专利权）人： | 深圳德诚达光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发真空 蒸发组件 镀膜机 基板 镀膜坩埚 本实用新型 电极 磁极 偏转 真空镀膜机 圆心 程序控制 镀膜作业 均匀开设 转台 多膜层 圆形状 衬套 镀膜 盛放 | ||
【权利要求书】：
1.电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，包括基板(1)；
安装在所述基板(1)上的电极(2)；
安装在所述基板(1)上并分别位于所述电极(2)的两侧的偏转磁极(3)；
安装在所述基板(1)上并由程序控制旋转的转台(4)；
安装在所述转台(4)上的圆形状的镀膜坩埚(5)，所述镀膜坩埚(5)上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽(51)；
用以盛放镀膜药剂的多个衬套(6)分别放置于所述镀膜坩埚(5)的凹槽(51)内。
2.如权利要求1所述的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，所述凹槽(51)为半圆形；所述衬套(6)为半圆形。
3.如权利要求1所述的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，所述镀膜坩埚(5)边沿向所述凹槽(51)开设缺口(52)，所述缺口(52)底面与放置于所述凹槽(51)内的所述衬套(6)的顶面齐平。
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