[实用新型]电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，包括基板；安装在所述基板上的电极；安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极；安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台；安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚，所述镀膜坩埚上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽；用以盛放镀膜药剂的多个衬套分别放置于所述镀膜坩埚的凹槽内。本实用新型的目的在于提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体涉及电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。

背景技术

对于采用电子蒸发方式的真空镀膜机，其原理是镀膜机内通过电极产生电子束打到镀膜药剂上从而使镀膜药剂蒸发附着在被镀膜产品上。对于大批量及多膜层的镀膜作业中，需要大量的镀膜药剂以及不同种类的镀膜药剂，由此，需要可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。为此，本实用新型采用以下技术方案：

电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，包括基板；

安装在所述基板上的电极；

安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极；

安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台；

安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚，所述镀膜坩埚上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽；

用以盛放镀膜药剂的多个衬套分别放置于所述镀膜坩埚的凹槽内。

本实用新型提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，由于镀膜坩埚上设置有多个凹槽并放置多个衬套，所以多个衬套可以盛放大量的镀膜药剂，从而可满足大批量的镀膜作业；此外，多个衬套可以分别盛放不同种类的镀膜药剂，程序可以根据镀膜的要求控制转台带动镀膜坩埚旋转，从而使电子束打到不同的衬套的镀膜药剂上，从而可以在一次镀膜作业中实现多膜层的镀膜作业。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件的立体分解结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1、2。

本实施例提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，包括基板1；

安装在基板1上的电极2；

安装在基板1上并分别位于电极2的两侧的偏转磁极3；

安装在基板1上并由程序控制旋转的转台4；

安装在转台4上的圆形状的镀膜坩埚5，镀膜坩埚5上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽51；

用以盛放镀膜药剂的多个衬套6分别放置于镀膜坩埚5的凹槽51内。

本实施例提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，镀膜药剂放置于衬套6 内，电极2发出的电子束通过偏转磁极3偏转后射入衬套6的镀膜药剂中从而使镀膜药剂蒸发到被镀膜的产品上。由于镀膜坩埚5上设置有多个凹槽51并放置多个衬套6，所以多个衬套6可以盛放大量的镀膜药剂，从而可满足大批量的镀膜作业；此外，多个衬套6可以分别盛放不同种类的镀膜药剂，程序可以根据镀膜的要求控制转台4带动镀膜坩埚5旋转，从而使电子束打到不同的衬套6 的镀膜药剂上，从而可以在一次镀膜作业中实现多膜层的镀膜作业。