[实用新型]一种半导体元器件检测装置

说明书

本实用新型涉及测量技术领域，公开了一种半导体元器件检测装置，包括：底座、支架、X向移动机构、Y向移动机构、相机、传送机构、载盘和取件机构，所述X向移动机构通过支架固定于底座上，所述Y向移动机构滑动设置于X向移动该机构上，所述相机通过固定架滑动设置于Y向移动机构上，所述传送机构设置于底座上，所述载盘放置于传送机构上，所述取件机构设置于固定架上；所述取件机构包括第一气缸和吸头，所述第一气缸设置于固定架上，所述吸头在第一气缸的驱动下上下移动。本实用新型具有检测效率高、节省人力成本的优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种半导体元器件检测装置。

背景技术

随着科技的发展，半导体元器件被广泛应用于各行各业。而为了确保半导体元器件的合格率，通常要对其尺寸是否符合要求、是否有磨损等表面缺陷进行检测。

而现有技术中的检测仍然是每个半导体元器件逐一单独检测，而且检测到不良品时需人工进行剔除，这不仅效率低，而且浪费人力，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是现有的半导体元器件表面缺陷检测效率低、浪费人力、生产成本高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供了一种半导体元器件检测装置，包括：底座、支架、X向移动机构、Y向移动机构、相机、传送机构、载盘和取件机构，所述X向移动机构通过支架固定于底座上，所述Y向移动机构滑动设置于X向移动该机构上，所述相机通过固定架滑动设置于Y向移动机构上，所述传送机构设置于底座上，所述载盘放置于传送机构上，所述取件机构设置于固定架上；所述取件机构包括第一气缸和吸头，所述第一气缸设置于固定架上，所述吸头在第一气缸的驱动下上下移动。本实用新型中的检测装置，可在载盘上放置几十个甚至更多的半导体元器件，而后通过相机拍照后对其表面缺陷进行检测，当检测出不良品时，通过移动机构带动取件机构将不良品从载盘上取出剔除，从而实现半导体元器件表面缺陷的自动检测和不良品的自动剔除，提高了检测效率，节省了人力成本。

优选的，所述传送机构由平行设置于的左右两个传送单元构成，所述传送单元包括固定座和设置于固定座上的第一驱动设备、滑轮组和传送带，所述固定座设置于底座上，其中一个所述传送单元的传送带外侧设有由第二气缸驱动的夹板，所述夹板的L向边沿位于传送带上方，且与所述夹板相对应的另一侧传送带上设有压板。为了使相机对半导体元器件拍照时更加清晰，进而降低检测失误率，采用左右两个传送机构同步传送，当载盘移动到相机下方时，通过夹板与压板将载盘固定不动，使得相机能够稳定拍照，同时，检测出不良品时，取件机构在移动机构带动下进行二维移动，可以很方便地吸取下不良品。

优选的，所述两侧传送带上除夹板处均设有压板。两个传送带全程都具有压板，从而在载盘传送过程中既起到了导向作用，还起到规整载盘位置的作用，由于传送带是左右分开的，两传送带之间具有交到间隙，以上机构既防止了载盘意外从传动机构上掉落，也规整载盘位置，便于夹板与压板夹住，减少在夹住载盘时对在载盘的晃动。

优选的，其中一所述传送单元设置于底座上的滑轨上，所述滑轨延伸方向垂直于传送带移动方向，所述传送单元在第二驱动设备的驱动下可沿滑轨移动。通过调整两传送单元之间的距离，使之能够根据需要放入不同尺寸的载盘，提高了装置的适用性。

优选的，所述载盘底部设有滑块。在载盘被夹板与压板夹住时，传送带不停转，防止传送单元频繁停启缩短设备使用寿命，降低维护成本。

优选的，所述夹板外侧设有固定于固定座上的限位块，所述传送机构侧设有固定于底座上的收集箱。限位块能够有效防止夹板向外移动距离过大，造成在完成夹住动作时行程过长，使得载盘移动到超出相机拍照范围，造成误检。

优选的，所述传送机构上设有到位传感器。通过到位传感器能够准确识别到载盘到传送到相机的拍摄区域，同时，夹板与压板夹住载盘。