[实用新型]电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件有效

专利信息
申请号: 201820171682.6 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN207933520U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 张星 申请(专利权)人: 深圳德诚达光电材料有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市光*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 放置板 槽身 夹块 蒸发真空 蒸发组件 镀膜机 蒸发舟 电阻 本实用新型 负极电极 正极电极 槽口 翼片 真空镀膜机 镀膜作业 间隔安装 两端水平 可重复 上端 直立 延展 架设
【权利要求书】:

1.电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,其特征在于,包括基座(1),

分别直立间隔安装在所述基座(1)上的正极电极针(21)、负极电极针(22),

分别安装在所述正极电极针(21)、所述负极电极针(22)的上端的第一夹块(31)、第二夹块(32),

两端安装分别在所述第一夹块(31)、所述第二夹块(32)的放置板(4),放置在所述放置板(4)中的槽口(41)的蒸发舟(5);

所述蒸发舟(5)包括槽身(51)以及由所述槽身(51)两端水平延展的翼片(52),所述槽身(51)坐落于所述放置板(4)的槽口(41),所述翼片(52)架设于所述放置板(4)上;

所述蒸发舟(5)的槽身(51)的长4-5cm,宽2-3cm,深1-2cm。

2.如权利要求1所述的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,其特征在于,所述蒸发舟(5)的槽身(51)内还设置有金属丝网(511)。

3.如权利要求1所述的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,其特征在于,所述第一夹块(31)包括第一上夹块(311)、第一下夹块(312),第二夹块(32)包括第二上夹块(321)、第二下夹块(322);

所述第一下夹块(312)、所述第二下夹块(322)上分别开设有卡接所述放置板(4)的第一卡口(313)、第二卡口(323);

所述第一上夹块(311)与第一下夹块(312)共同夹持所述放置板(4)的一端,所述第二上夹块(321)与所述第二下夹块(322)共同夹持所述放置板(4)的另一端。

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