[实用新型]电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件有效

专利信息
申请号: 201820171682.6 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN207933520U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 张星 申请(专利权)人: 深圳德诚达光电材料有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市光*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
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【说明书】:

实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基座,分别直立间隔安装在所述基座上的正极电极针、负极电极针,分别安装在所述正极电极针、所述负极电极针的上端的第一夹块、第二夹块,两端安装分别在所述第一夹块、所述第二夹块的放置板,放置在所述放置板中的槽口的蒸发舟;所述蒸发舟包括槽身以及由所述槽身两端水平延展的翼片,所述槽身坐落于所述放置板的槽口,所述翼片架设于所述放置板上;所述蒸发舟的槽身的长4‑5cm,宽2‑3cm,深1‑2cm。本实用新型提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,适用于大批量镀膜作业;同时可重复使用,避免资源浪费。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体涉及电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件。

背景技术

电阻蒸发镀膜的方式是,将镀膜药剂放在电阻蒸发真空镀膜机内,利用电阻加热的方式将镀膜药剂加热蒸发,蒸发的镀膜药剂附着在被镀膜基材上形成膜层。现有技术提供的一种镀膜药剂的形式为将固态药剂放置于直径约1.5厘米、深约0.8厘米的金属器皿内,该金属器皿内设置有便于传热以及便于固定固态药剂的金属丝网,俗称“药丸”。该“药丸”所含的药剂较少,不便于大批量镀膜作业,从而影响作业效率;另外该药丸的容量较小,亦不便于对金属器皿重复使用,从而造成资源浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供便于大批量镀膜作业以及可重复使用的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件。为此,本实用新型采用以下方案:

电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基座,

分别直立间隔安装在所述基座上的正极电极针、负极电极针,

分别安装在所述正极电极针、所述负极电极针的上端的第一夹块、第二夹块,

两端安装分别在所述第一夹块、所述第二夹块的放置板,

放置在所述放置板中的槽口的蒸发舟;

所述蒸发舟包括槽身以及由所述槽身两端水平延展的翼片,所述槽身坐落于所述放置板的槽口,所述翼片架设于所述放置板上;

所述蒸发舟的槽身的长4-5cm,宽2-3cm,深1-2cm。

本实用新型提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,适用于大批量镀膜作业;同时可重复使用,避免资源浪费。

附图说明

图1为实用新型实施例提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件的第一视角立体结构示意图;

图2为实用新型实施例提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件的第二视角立体爆炸结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参考图1、2。

本实施例提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基座1,

分别直立间隔安装在基座1上的正极电极针21、负极电极针22,

分别安装在正极电极针21、负极电极针22的上端的第一夹块31、第二夹块32,

两端安装分别在第一夹块31、第二夹块32的放置板4,

放置在放置板4中的槽口41的蒸发舟5;

蒸发舟5包括槽身51以及由槽身51两端水平延展的翼片52,槽身51坐落于放置板4的槽口41,翼片52架设于放置板4上;

蒸发舟5的槽身51的长4-5cm,宽2-3cm,深1-2cm。

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