[实用新型]一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉有效
申请号: | 201820173507.0 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN208071807U | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 董家海 | 申请(专利权)人: | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C01B21/064 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 刘计成 |
地址: | 322100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉盖 主炉体 搅拌器 散热 套轴 芯轴 进气口 注水 氮化硼制品 气相沉积炉 空腔层 本实用新型 第二空腔 第一空腔 隔热效果 管状空腔 加热电极 可拆卸式 炉盖中央 密封结构 生产效率 圆柱体形 出水口 辅炉体 进水口 排气口 体内腔 炉子 端板 炉壁 竖向 下端 主炉 加热 体内 生产 贯穿 | ||
1.一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,包括圆柱体形的主炉体,所述主炉体上、下方分别设置有炉盖和炉底,其特征在于:所述主炉体与所述炉底可拆卸式设置,所述炉盖设置有排气口,所述炉底设置有进气口,所述进气口一侧设置有用于加热所述主炉体内腔的加热电极组件;所述主炉体、炉盖、炉底的壁体内分别设置有可以注水散热的第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层,所述第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层连通设置,所述主炉体、炉盖上均设置有进水口,所述炉底设置有出水口;所述炉盖中央贯穿设置有竖向的搅拌器,所述搅拌器包括芯轴,所述芯轴外设置有套轴,所述芯轴与所述套轴之间设置有可以注水散热的管状空腔,所述套轴下端设置有端板,所述搅拌器与所述炉盖之间设置有密封结构。
2.根据权利要求1所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述主炉体与所述炉底之间设置有辅炉体,所述辅炉体分别与所述主炉体、炉底可拆卸式设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述辅炉体的壁体内设置有可以注水散热的第四空腔层,所述第四空腔层与所述第一空腔层、第三空腔层连通设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述炉盖上设置有出气管,所述出气管与一压力检测装置连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述炉盖与所述主炉体上均设置有观察窗。
6.根据权利要求1所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述密封结构为磁流体密封。
7.根据权利要求1所述的一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉,其特征在于:所述端板的材料为紫铜。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的