[实用新型]一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉

说明书

一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉，包括圆柱体形的主炉体，主炉体上、下方分别设置有炉盖和炉底，炉盖设置有排气口，炉底设置有进气口，进气口一侧设置有用于加热主炉体内腔的加热电极组件；主炉体、炉盖、炉底的壁体内分别设置有可以注水散热的第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层，主炉体、炉盖上均设置有进水口，炉底设置有出水口；炉盖中央贯穿设置有竖向的搅拌器，搅拌器包括芯轴，芯轴外设置有套轴，芯轴与套轴之间设置有可以注水散热的管状空腔，套轴下端设置有端板，搅拌器与炉盖之间设置有密封结构。本实用新型在炉壁内设置空腔层来注水散热，具有良好的隔热效果，采用可拆卸式辅炉体来增加炉子的适用范围，实用性强，生产效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种气相沉积炉，具体涉及一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉。

背景技术

目前，生产氮化硼制品的工艺中需要使用到气相沉积炉，气相沉积炉的原理就是采用一种旋转结构使模具在炉体内部进行转动，在加热的条件下进行气相沉积。由于炉体内温度较高，使得炉壁温度上升，会造成安全隐患，因此，在气相沉积炉的使用中需要隔热，然而现有的大多数气相沉积炉只是在内部垫入隔热层，隔热效果并不好，而且炉体大小固定，遇到大点的模具就不适用了，因此，有必要设计一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉来解决上述问题。

发明内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉，包括圆柱体形的主炉体，所述主炉体上、下方分别设置有炉盖和炉底，所述主炉体与所述炉底可拆卸式设置，所述炉盖设置有排气口，所述炉底设置有进气口，所述进气口一侧设置有用于加热所述主炉体内腔的加热电极组件；所述主炉体、炉盖、炉底的壁体内分别设置有可以注水散热的第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层，所述第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层连通设置，所述主炉体、炉盖上均设置有进水口，所述炉底设置有出水口；所述炉盖中央贯穿设置有竖向的搅拌器，所述搅拌器包括芯轴，所述芯轴外设置有套轴，所述芯轴与所述套轴之间设置有可以注水散热的管状空腔，所述套轴下端设置有端板，所述搅拌器与所述炉盖之间设置有密封结构。

优选的技术方案为：所述主炉体与所述炉底之间设置有辅炉体，所述辅炉体分别与所述主炉体、炉底可拆卸式设置。

优选的技术方案为：所述辅炉体的壁体内设置有可以注水散热的第四空腔层，所述第四空腔层与所述第一空腔层、第三空腔层连通设置。

优选的技术方案为：所述炉盖上设置有出气管，所述出气管与一压力检测装置连接。

优选的技术方案为：所述炉盖与所述主炉体上均设置有观察窗。

优选的技术方案为：所述密封结构为磁流体密封。

优选的技术方案为：所述端板的材料为紫铜。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型在炉壁内设置空腔层来注水散热，具有良好的隔热效果，采用可拆卸式的辅炉体来增加炉子的适用范围，实用性强，生产效率高。

附图说明

图1为本实用新型整体示意图。

图2为A部放大图。

以上附图中，主炉体1，炉盖2，炉底3，排气口4，进气口5，加热电极组件6，第一空腔层7，第二空腔层8，第三空腔层9，进水口10，出水口11，搅拌器12，芯轴13，套轴14，管状空腔15，端板16，密封结构17，辅炉体18，第四空腔层19，出气管20，压力检测装置21，观察窗22。

具体实施方式