[实用新型]一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器有效
申请号: | 201820184960.1 | 申请日: | 2018-02-02 |
公开(公告)号: | CN208087779U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 刘娟 | 申请(专利权)人: | 林蓉瑶 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 323600 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 升高 齿轮仓 齿条 籽晶夹持器 本实用新型 硅单晶 区熔法 主支杆 夹头 籽晶 轴承 吸盘 带动齿轮 多晶材料 内部安装 推动连接 旋转固定 旋转旋钮 升降仓 生长 套管 放入 滑轨 滑块 限位 支杆 转轴 外部 延伸 | ||
1.一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,包括基座(1)、升降仓(2)、夹头(5)、齿轮仓(7)和齿条(12),其特征在于:所述基座(1)底部的中间位置处安装有第二吸盘(14),所述基座(1)的上方设置有主支杆(8),且主支杆(8)的内部安装有齿条(12),所述主支杆(8)一端的中间位置处设置有齿轮仓(7),且齿轮仓(7)内部一侧的中间位置处安装有轴承(15),所述轴承(15)的内侧安装有延伸至齿轮仓(7)外部的转轴(17),所述转轴(17)的侧壁上安装有与齿条(12)相配合的齿轮(13),所述转轴(17)远离轴承(15)的一端安装有旋钮帽(16),所述主支杆(8)的上方安装有升降仓(2),且升降仓(2)内部的两端皆安装有滑轨(11),所述滑轨(11)的内侧通过滑块(10)安装有连接块(6),且连接块(6)的底部与齿条(12)的顶部连接,所述连接块(6)上方的中间位置处设置有安装管(3),且安装管(3)的内侧安装有螺纹杆(18),所述螺纹杆(18)的上方安装有夹头(5),且夹头(5)侧壁的底部螺纹安装有固定套管(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,其特征在于:所述夹头(5)内侧的上方均匀设置有固定突起(19)。
3.根据权利要求1所述的一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,其特征在于:所述基座(1)底部的外侧均匀安装有第一吸盘(9)。
4.根据权利要求1所述的一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,其特征在于:所述齿轮仓(7)远离主支杆(8)的一端设置有修理门。
5.根据权利要求1所述的一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,其特征在于:所述安装管(3)与螺纹杆(18)之间通过螺纹安装。
6.根据权利要求1所述的一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器,其特征在于:所述旋钮帽(16)的侧壁上均匀设置有防滑凸起。
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