[实用新型]一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器

说明书

本实用新型公开了一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座、升降仓、夹头、齿轮仓和齿条，所述基座底部的中间位置处安装有第二吸盘，所述基座的上方设置有主支杆，且主支杆的内部安装有齿条，所述主支杆一端的中间位置处设置有齿轮仓，且齿轮仓内部一侧的中间位置处安装有轴承，所述轴承的内侧安装有延伸至齿轮仓外部的转轴。本实用新型可以通过旋转旋钮帽，带动齿轮旋转，使齿条升高，齿条升高推动连接块沿着滑轨升高，从而使籽晶升高，更好地接触多晶材料，且升高过程中，由滑块辅助升高和限位，不易出现偏差，该籽晶夹持器可以将籽晶放入夹头内侧，然后旋转固定套管固定好。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。

背景技术

区熔法拉制硅单晶是用高频加热线圈对多晶硅料进行加热，使其熔融后与下方的籽晶接触，按籽晶晶向结构生长成高纯度硅单晶的方法，籽晶是一种具有特定晶向的硅单晶体，在区熔硅单晶生长过程中，籽晶必须很好地固定，且在拉晶开始阶段需对长出的单晶起到支撑作用，因此必须要有一个可靠的籽晶夹持机构，以保证硅单晶生长过程的顺利进行，而在硅单晶生长的过程中，需要提高下方籽晶的高度，从而更好地和上方的多晶硅料接触，而现有的籽晶夹持器需要操作人员手持来提高籽晶高度，其过程中容易出现偏差，造成硅单晶生长扭曲，现有的籽晶夹持器不能有效固定住各个型号大小的籽晶，需要更换不同的籽晶夹头，不够方便，现有的籽晶夹持器的底座不能固定平稳或者没有底座，有时可能出现晃动，造成硅单晶生长失败。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括基座、升降仓、夹头、齿轮仓和齿条，所述基座底部的中间位置处安装有第二吸盘，所述基座的上方设置有主支杆，且主支杆的内部安装有齿条，所述主支杆一端的中间位置处设置有齿轮仓，且齿轮仓内部一侧的中间位置处安装有轴承，所述轴承的内侧安装有延伸至齿轮仓外部的转轴，所述转轴的侧壁上安装有与齿条相配合的齿轮，所述转轴远离轴承的一端安装有旋钮帽，所述主支杆的上方安装有升降仓，且升降仓内部的两端皆安装有滑轨，所述滑轨的内侧通过滑块安装有连接块，且连接块的底部与齿条的顶部连接，所述连接块上方的中间位置处设置有安装管，且安装管的内侧安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上方安装有夹头，且夹头侧壁的底部螺纹安装有固定套管。

优选的，所述夹头内侧的上方均匀设置有固定突起。

优选的，所述基座底部的外侧均匀安装有第一吸盘。

优选的，所述齿轮仓远离主支杆的一端设置有修理门。

优选的，所述安装管与螺纹杆之间通过螺纹安装。

优选的，所述旋钮帽的侧壁上均匀设置有防滑凸起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器可以通过旋转旋钮帽，带动齿轮旋转，使齿条升高，齿条升高推动连接块沿着滑轨升高，从而使籽晶升高，更好地接触多晶材料，且升高过程中，由滑块辅助升高和限位，不易出现偏差，该籽晶夹持器可以将籽晶放入夹头内侧，然后旋转固定套管固定好，可以通过固定套管向上旋转移动的高度来调节夹头内侧夹孔的大小，适合多种型号大小的籽晶，且夹头内侧的固定凸起可以更好地固定籽晶，该籽晶夹持器地底座可以通过底部一圈地第一吸盘和底部中间地第二吸盘相互配合，使固定更牢固，不易晃动，避免硅单晶生长失败。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的齿轮、齿条结构示意图；

图4为本实用新型的夹头结构示意图；

图5为本实用新型的夹头俯视图。