[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201820185391.2 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN207833216U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜化处理 薄膜化装置 浸渍槽 薄膜化 逆流 施加载荷 载荷机构 上游 不均匀 入口辊 侧辊 基板 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂层的薄膜化装置，前述抗蚀剂层的薄膜化装置具备薄膜化处理单元，其特征在于，
前述薄膜化处理单元具有浸渍槽，前述浸渍槽装有薄膜化处理液，前述浸渍槽具有薄膜化处理液逆流防止机构。
2.如权利要求1所述的抗蚀剂层的薄膜化装置，其特征在于，
前述浸渍槽具有入口辊对，前述薄膜化处理液逆流防止机构是对前述浸渍槽的入口辊对的上侧辊施加载荷的载荷机构。
3.如权利要求2所述的抗蚀剂层的薄膜化装置，其特征在于，
前述载荷机构是前述浸渍槽的前述入口辊对的前述上侧辊上所具备的载荷辊。
4.如权利要求2所述的抗蚀剂层的薄膜化装置，其特征在于，
前述载荷机构是前述浸渍槽的前述入口辊对，前述上侧辊比前述入口辊对的下侧辊重。
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