[实用新型]一种半导体芯片微调测试装置

权利要求书

1.一种半导体芯片微调测试装置，其特征在于：包括支架底座(1)、中间固定块(2)、顶部支撑装置(3)、上下微调装置和左右微调装置，所述中间固定块(2)可上下移动的设置在支架底座(1)上，所述顶部支撑装置(3)设置在中间固定块(2)上部并可相对于中间固定块(2)左右移动；所述上下微调节置设置在支架底座(1)和中间固定块(2)上，所述左右微调装置设置在中间固定块(2)和顶部支撑装置(3)上。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：所述上下微调装置包括第一挡块(4)、第一固定块(5)和第一微分头(6)，所述第一微分头(6)竖向设置在第一挡块(4)和第一固定块(5)上，第一挡块(4)固定在支架底座(1)上，第一固定块(5)固定在中间固定块(2)上。

3.根据权利要求1所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：所述左右微调装置包括第二挡块(7)、第二固定块(8)和第二微分头(9)，所述第二微分头(9)设置在第二挡块(7)和第二固定块上，第二挡块(7)固定在中间固定块(2)上，第二固定块(8)固定在顶部支撑装置(3)上。

4.根据权利要求2所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：所述第一微分头(6)包括第一测杆(61)、第一旋钮(62)和第一固定套(63)，所述第一固定套(63)固定在第一固定块(5)上，所述第一测杆(61)固定在第一挡块(4)上。

5.根据权利要求4所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：在所述第一测杆(61)前端设置有2个平面推力球轴承(10)，所述平面推力球轴承(10)分别位于第一挡块(4)的上下两侧。

6.根据权利要求3所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：所述第二微分头(9)包括第二测杆(91)、第二旋钮(92)和第二固定套(93)，所述第二固定套(93)固定在第二固定块(8)上，所述第二测杆(91)固定在第二挡块(7)上。

7.根据权利要求6所述的半导体芯片微调测试装置，其特征在于：在所述第二测杆(91)前端设置有2个平面推力球轴承(10)，所述平面推力球轴承(10)分别位于第二挡块(7)的左右两侧。