[实用新型]一种薄膜体声波谐振器

说明书

本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括从下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，其中基底与底电极之间设有反射界面，底电极、压电层和顶电极中，至少有一层的形状与其它层不同。本实用新型在不额外增加工艺层数的前提下，通过增加一个凸块或缺块从而调整上电极、压电层或下电极的形状，从而让横向波的能量衰减，降低横向波的反射能量，提高Q值。

技术领域

本实用新型属于体声波谐振器领域，具体涉及一种薄膜体声波谐振器。

背景技术

随着通讯频段的演进，其所需求的频率越来越高，在高频率的需求下，其谐振器需要提供更好的Q值才能减少滤波器的损耗，得到一具更高质量的滤波响应。传统的图形，容易加强驻波的反射能量，从而降低Q值。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种薄膜体声波谐振器，在不额外增加工艺层数的前提下，能够降低横向波的反射能量，提高Q值。

本实用新型为解决上述技术问题所采取的技术方案为：一种薄膜体声波谐振器，包括从下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，其中基底与底电极之间设有反射界面，其特征在于：所述的底电极、压电层和顶电极中，至少有一层的形状与其它层不同。

按上述方案，所述的形状不同具体为：增加至少一个凸块。

按上述方案，所述的凸块为与所在层的原结构具有一定距离的独立凸块。

按上述方案，所述的一定距离为大于0、小于或等于100um。

按上述方案，所述的凸块为连接在所在层的原结构上的连接凸块。

按上述方案，所述的形状不同具体为：在原结构设有至少一个缺块。

按上述方案，所述的缺块设置在原结构的边缘或中间任意位置。

按上述方案，所述的缺块的高度小于或等于原结构的厚度。

按上述方案，所述的压电层采用具有压电特性的材料。

按上述方案，所述的压电层的材料为AlN、AlScN、ZnO、PZT、LiNO₃、LiTaO₃或BST中的一种。

本实用新型的有益效果为：在不额外增加工艺层数的前提下，通过增加一个凸块或缺块从而调整顶电极、压电层或底电极的形状，从而让横向波的能量衰减，降低横向波的反射能量，提高Q值。

附图说明

图1为一种薄膜体声波谐振器的结构示意图。

图2为第二种薄膜体声波谐振器的结构示意图。

图3为第三种薄膜体声波谐振器的结构示意图。

图4为本实用新型实施例一的俯视图。

图5为本实用新型实施例二的俯视图。

图6为本实用新型实施例三的俯视图。

图7为图6的一种AA剖视图。

图8为图6的另一种AA剖视图。

图9为本实用新型实施例四的俯视图。

图中：101-顶电极，102-压电层，103-底电极，104-空气腔，105-基底，106-布拉格反射镜，1011-顶电极外轮廓，1012-切边，1013-独立凸块，1014-连接凸块，1015-缺块，10151-镂空缺块，10152-凹槽缺块。

具体实施方式

下面结合具体实例和附图对本实用新型做进一步说明。