[实用新型]溶剂槽及涂胶显影装置有效
| 申请号： | 201820209643.0 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN207752296U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 沈雪;张荃雄 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶剂槽 光刻胶喷嘴 开关组件 涂胶 本实用新型 开口 控制组件 显影装置 腔体 半导体制造技术 晶圆产品 腔体顶部 清洗溶剂 腔体移 挥发 显影 制程 清洗 封闭 | ||
1.一种溶剂槽，包括用于清洗光刻胶喷嘴的腔体及位于所述腔体顶部的开口，所述开口用于所述光刻胶喷嘴进出所述腔体，其特征在于，还包括控制组件和开关组件；所述控制组件，连接所述开关组件，用于判断所述光刻胶喷嘴是否从所述腔体移出，若是，则控制所述开关组件封闭所述开口。
2.根据权利要求1所述的溶剂槽，其特征在于，所述控制组件包括第一传感器；所述第一传感器，连接所述开关组件，用于检测在第一预设范围内是否存在光刻胶喷嘴，若否，则控制所述开关组件封闭所述开口。
3.根据权利要求2所述的溶剂槽，其特征在于，所述第一传感器，还用于检测在第一预设范围内是否存在光刻胶喷嘴，若是，则控制所述开关组件开启所述开口。
4.根据权利要求3所述的溶剂槽，其特征在于，所述第一传感器为接近传感器。
5.根据权利要求3所述的溶剂槽，其特征在于，所述控制组件还包括第二传感器；所述第二传感器，置于所述腔体内部，用于检测所述腔体内部溶剂挥发物的浓度是否在第二预设范围内，若否，则调整所述腔体内部溶剂挥发物的浓度。
6.根据权利要求1所述的溶剂槽，其特征在于，所述开关组件包括开关元件和挡板；所述开关元件，连接所述控制组件、所述挡板，用于根据所述控制组件的控制信号驱动所述挡板封闭所述开口。
7.根据权利要求6所述的溶剂槽，其特征在于，所述开关组件采用耐腐蚀材料制造而成。
8.一种涂胶显影装置，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的溶剂槽。
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