[实用新型]真空转换室密封设备和带真空转换室的设备有效
申请号: | 201820219195.2 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN207892416U | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 睿力集成电路有限公司 |
主分类号: | E05F15/50 | 分类号: | E05F15/50;E06B7/16 |
代理公司: | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人: | 屈小春;武晨燕 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空转换 传送组件 框架主体 水平方向移动 本实用新型 门板 密封设备 传送机构 门板边缘 密封真空 细微颗粒 预设间隔 外侧壁 真空室 转换室 内壁 贴合 密封 对准 垂直 移动 | ||
1.一种真空转换室密封设备,其特征在于,包括:
框架主体,与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合;
门板,设置在所述框架主体内,用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准,以及在第二阶段,沿水平方向移动以密封所述真空转换室;其中,所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔;以及
传送机构,包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或者水平方向移动的第一传送组件,以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。
2.如权利要求1所述的真空转换室密封设备,其特征在于,还包括:设置在所述框架主体下方且为所述第一传送组件和所述第二传送组件提供动力的气压缸,所述气压缸包括缸体,以及在所述缸体中往复运动的第一活塞和第二活塞;所述第一活塞分别与所述第一传送组件和所述第二传送组件连接,所述第二活塞与所述第二传送组件连接。
3.如权利要求2所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述第一传送组件包括支撑杆,所述支撑杆的一端与所述门板连接,所述支撑杆的另一端与所述第一活塞连接,以在所述第一活塞的带动下沿垂直方向移动。
4.如权利要求3所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述第一活塞的上表面包括第一凸起,所述第二活塞的下表面包括第二凸起;以及所述第二传送组件包括:
第一推动件,设置在所述第一活塞的上方,包括第一固定转轴和用于与所述第一凸起衔接的第一凹槽,所述第一凹槽的尺寸不大于所述第一凸起;
第二推动件,设置在所述第二活塞的下方,包括第二固定转轴和用于与所述第二凸起衔接的第二凹槽,所述第二凹槽的尺寸不大于所述第二凸起;
其中,当所述第一活塞沿垂直方向向上移动,且所述第一凸起与所述第一凹槽接触时,所述第一固定转轴在所述第一凸起的压力下往上滑动,带动所述第一推动件绕所述第一固定转轴顺时针旋转,进而带动所述第一活塞连接的支撑杆沿水平方向朝背向所述窗口的方向移动;以及
当所述第二活塞沿垂直方向向下移动,且所述第二凸起与所述第二凹槽接触时,所述第二固定转轴所述第二凸起的压力下往下滑动,带动所述第二推动件绕所述第二固定转轴逆时针旋转,以带动所述第二活塞以及所述第一活塞连接的支撑杆均沿水平方向朝向所述窗口的方向移动。
5.如权利要求3或4所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述气压缸包括:
第一导气孔,用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体,以使所述第一活塞在所述缸体中进行往复运动;以及
第二导气孔,用于将气体导入所述缸体和/或从所述缸体中导出气体,以使所述第二活塞在所述缸体中进行往复运动。
6.如权利要求3所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述支撑杆包括至少三个竖杆,以及使所述竖杆相互连接的固定连接件。
7.如权利要求1所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述预设间隔在18mm至22mm之间。
8.如权利要求1所述的真空转换室密封设备,其特征在于,还包括:
密封圈,设置在所述门板与所述窗口贴合的表面上,以在所述第二阶段中,使所述真空转换室密封,其中,所述密封圈的周长大于所述窗口的周长。
9.如权利要求8所述的真空转换室密封设备,其特征在于,所述密封圈由塑胶构成。
10.一种带真空转换室的设备,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项所述的真空转换室密封设备。
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