[实用新型]真空转换室密封设备和带真空转换室的设备

说明书

本实用新型提供一种真空转换室密封设备，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封真空转换室；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。以及本实用新型还提供一种带真空转换室的设备。实施本实用新型，可以在密封或开启真空转换室的过程中避免细微颗粒进入真空室。

技术领域

本实用新型涉及机械传动技术领域，尤其涉及一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备。

背景技术

在半导体或电子电路当中，通常需要置于真空条件中实现，一般会在设备中设置一个用于放置待处理元器件、组件或装置的真空转换室，该真空转换室设置有一个门板，当打开该门板时可以放置或从中取出待处理的元器件、组件或装置，而此时该真空转换室为大气状态，并非为真空状态，那么为了使其变为真空状态，则需要将门板关闭并使该真空转换室处于密闭的状态，进而真空转换室设置的抽气机构，在接收到相关指令后执行抽气操作，使得真空转换室内的环境为真空。

如图1所示，发明人在使用用于开启或关闭真空转换室的真空转换室密封设备时发现，该装置包括设置有顶板111的门板110、上下气缸120、至少两个夹紧气缸130、导轴140和导向槽150；其中，上下气缸120包括浮动支撑柱121、第一导气管122、第二导气管123和气压缸124；导轴140和导向槽150分别设置一组在门板110的两侧。

以下将结合上述装置的结构图描述当关闭真空转换室时上述装置的工作原理：

第一步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第一导气管122将空气导入气压缸124中以向上推动门板110向上移动，同时浮动支撑柱121也往上支撑顶板111，由于门板110的两侧与导向槽150连接，因而在向上推动门板110的过程中门板110和导向槽150沿着导轴140向上平移至门板110正对真空转换室的窗口的位置；

第二步：外部的CDA充气设备通过上下气缸120的第二导气管123将空气导进夹紧气缸130中，夹紧气缸130为泄漏型的夹紧气缸，此时，夹紧气缸130内的气压使得门板110往前推动，门板110贴合真空转换室的窗口。

但是上述技术方案存在以下缺点：

1、长时间的使用，气压缸124内的空气会使金属制作的导轴140和浮动支撑柱121的头部产生腐蚀。

2、在门板110上下移动的过程，门板110的导向槽150会刮擦导轴140，以及夹紧气缸130内部的设置由于上下摩擦，均会产生细微颗粒物，该细微颗粒物会被带进真空室内部，而当真空转换室内存在类似元器件、组件的产品需要进行处理时，细微粒子会影响到这些产品处理过程，甚至造成产品异常。

3、导轴140和浮动支撑柱121的头部也会因长期使用过程中都会有摩擦的操作，磨损过大，需要经常更换。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种真空转换室密封设备和带真空转换室的设备，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。

作为本实用新型实施例的一个方面，本实用新型实施例提供一种真空转换室密封设备，包括：

框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；

门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及