[实用新型]一种实验用微型高真空单辊甩带机有效
申请号: | 201820243503.5 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN207840047U | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 李双江;董顺;曹崇友 | 申请(专利权)人: | 沈阳鹏程真空技术有限责任公司 |
主分类号: | B22D11/06 | 分类号: | B22D11/06 |
代理公司: | 沈阳技联专利代理有限公司 21205 | 代理人: | 张志刚 |
地址: | 110000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆柱形真空 固定机构 石英坩埚 实验用 本实用新型 单辊甩带机 高真空 磁流体密封装置 角度调节组件 真空获得系统 本底真空度 涡轮分子泵 安全阀 变频电机 行程可调 充气口 机械泵 甩带机 气缸 铜辊 卸压 搬运 摆放 洁净 | ||
1.一种实验用微型高真空单辊甩带机,其特征在于,所述甩带机包括设置于机台上的圆柱形真空室,圆柱形真空室顶部设有一个石英坩埚固定机构,该机构上设有行程可调的气缸,该石英坩埚固定机构上还设有角度调节组件,石英坩埚固定机构上还设有充气口和气道;铜辊由磁流体密封装置连接于变频电机;圆柱形真空室上设有卸压安全阀。
2.根据权利要求1所述的一种实验用微型高真空单辊甩带机,其特征在于,设在圆柱形真空室顶部的石英坩埚固定机构上有行程可调气缸。
3.根据权利要求2所述的一种实验用微型高真空单辊甩带机,其特征在于,设在圆柱形真空室顶部的石英坩埚固定机构上有角度调节组件。
4.根据权利要求3所述的一种实验用微型高真空单辊甩带机,其特征在于,圆柱形真空室上设有卸压安全阀。
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