[实用新型]光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置

权利要求书

1.一种光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，包括固定轴(4)和滚筒(1)，其中，

所述固定轴(4)水平固定在光阻涂布装置的机架(5)上；

所述滚筒(1)套设在所述固定轴(4)上并可绕所述固定轴(4)转动，所述滚筒(1)的外部设置滚筒包覆件(6)，所述滚筒包覆件(6)与所述滚筒(1)同轴，且所述滚筒(1)的外壁与所述滚筒包覆件(6)的内壁之间构成空心腔，所述滚筒包覆件(6)上开设有喷嘴开口(7)和溶剂开口(8)，所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口(7)与所述滚筒(1)的外壁接触，并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口(8)到达所述滚筒(1)的外壁。

2.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述光阻喷嘴清洗装置还包括设置于所述滚筒(1)下方的浸润槽(3)，所述洗涤溶剂设置在所述浸润槽(3)内，所述洗涤溶剂通过所述溶剂开口(8)与所述滚筒(1)的外壁接触。

3.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述滚筒包覆件(6)包括两个半圆筒件(601)，所述半圆筒件(601)的两端分别设置有把手(9)，所述把手(9)的一端固定至所述半圆筒件(601)的端部，另一端活动连接至所述固定轴(4)。

4.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述滚筒包覆件(6)的内径比所述滚筒(1)的外径大4-8cm。

5.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述滚筒(1)的外径为15-25cm。

6.根据权利要求5所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述滚筒包覆件(6)的内径为25-35cm。

7.根据权利要求2所述的光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，所述洗涤溶剂为PGMEA。

8.一种光阻涂布装置，包括光阻喷嘴(2)和涂布台面(11)，其特征在于，所述光阻涂布装置还包括如权利要求1至7中任一项所述的光阻喷嘴清洗装置。