[实用新型]光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置有效

专利信息
申请号: 201820247160.X 申请日: 2018-02-11
公开(公告)号: CN207946620U 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 陈文勇;王凤 申请(专利权)人: 咸阳彩虹光电科技有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;G03F7/16;B08B1/04;B08B3/08;B08B15/00
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 712000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 滚筒 光阻喷嘴 滚筒包 覆件 固定轴 清洗装置 外壁 光阻涂布装置 本实用新型 喷嘴开口 外部设置 洗涤溶剂 溶剂 开口 玻璃基板 清洗过程 水平固定 不均匀 滚筒套 空心腔 溅射 内壁 同轴 转动
【权利要求书】:

1.一种光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,包括固定轴(4)和滚筒(1),其中,

所述固定轴(4)水平固定在光阻涂布装置的机架(5)上;

所述滚筒(1)套设在所述固定轴(4)上并可绕所述固定轴(4)转动,所述滚筒(1)的外部设置滚筒包覆件(6),所述滚筒包覆件(6)与所述滚筒(1)同轴,且所述滚筒(1)的外壁与所述滚筒包覆件(6)的内壁之间构成空心腔,所述滚筒包覆件(6)上开设有喷嘴开口(7)和溶剂开口(8),所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口(7)与所述滚筒(1)的外壁接触,并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口(8)到达所述滚筒(1)的外壁。

2.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述光阻喷嘴清洗装置还包括设置于所述滚筒(1)下方的浸润槽(3),所述洗涤溶剂设置在所述浸润槽(3)内,所述洗涤溶剂通过所述溶剂开口(8)与所述滚筒(1)的外壁接触。

3.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述滚筒包覆件(6)包括两个半圆筒件(601),所述半圆筒件(601)的两端分别设置有把手(9),所述把手(9)的一端固定至所述半圆筒件(601)的端部,另一端活动连接至所述固定轴(4)。

4.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述滚筒包覆件(6)的内径比所述滚筒(1)的外径大4-8cm。

5.根据权利要求1所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述滚筒(1)的外径为15-25cm。

6.根据权利要求5所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述滚筒包覆件(6)的内径为25-35cm。

7.根据权利要求2所述的光阻喷嘴清洗装置,其特征在于,所述洗涤溶剂为PGMEA。

8.一种光阻涂布装置,包括光阻喷嘴(2)和涂布台面(11),其特征在于,所述光阻涂布装置还包括如权利要求1至7中任一项所述的光阻喷嘴清洗装置。

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