[实用新型]光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置

说明书

本实用新型涉及一种光阻喷嘴清洗装置，包括固定轴和滚筒，所述固定轴水平固定在光阻涂布装置的机架上；所述滚筒套设在所述固定轴上并可绕所述固定轴转动，所述滚筒的外部设置滚筒包覆件，所述滚筒包覆件与所述滚筒同轴，且所述滚筒的外壁与所述滚筒包覆件的内壁之间构成空心腔，所述滚筒包覆件上开设有喷嘴开口和溶剂开口，所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口与所述滚筒的外壁接触，并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口到达所述滚筒的外壁。本实用新型的光阻喷嘴清洗装置在现有的滚筒外部设置滚筒包覆件，防止在光阻喷嘴清洗过程中洗涤溶剂溅射到待涂布的玻璃基板上，造成后续涂布不均匀的现象。

技术领域

本实用新型属于光阻涂布技术领域，具体涉及一种光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置。

背景技术

CF(彩色滤光片)基板是LCD(液晶显示器)用来实现彩色显示的主要器件，其基本构成通常包括玻璃基板、黑色矩阵、彩色色阻层等。在CF制程中，包括光阻涂布、曝光、显影等，光阻涂布是最为重要的一个环节，光阻涂布的均匀性对于显示效果都有很重要的影响。

为了使光阻涂布到基板上一致性和均匀性较好，现有技术对喷涂光阻的光阻喷嘴每工作一定时间就要对其进行清洗，请参见图1和图2，图 1是现有技术光阻喷嘴清洗装置的示意图；图2是图1的光阻喷嘴清洗装置的截面图，使用时，滚筒1上部与光阻喷嘴2接触，下部浸润在浸润槽 3中的洗涤溶剂中，滚筒1旋转，其表面对光阻喷嘴2进行刮拭以使光阻喷嘴2形成平坦的端面，同时带动洗涤溶剂对光阻喷嘴2进行清洗；随后对光阻喷嘴2进行烘干处理。清洗完成后，光阻喷嘴2对玻璃基板进行光阻涂布。

然而，在上述清洗过程中，由于滚筒的转动，会带动浸润槽中的洗涤溶剂向四周溅射，容易溅射到旁边待涂布的玻璃基板上，造成后续涂布不均匀的现象，此外也造成了洗涤溶剂一定程度上的浪费，增大了成本。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型的一个方面提供了一种光阻喷嘴清洗装置，包括固定轴和滚筒，其中，

所述固定轴水平固定在光阻涂布装置的机架上；

所述滚筒套设在所述固定轴上并可绕所述固定轴转动，所述滚筒的外部设置滚筒包覆件，所述滚筒包覆件与所述滚筒同轴，且所述滚筒的外壁与所述滚筒包覆件的内壁之间构成空心腔，所述滚筒包覆件上开设有喷嘴开口和溶剂开口，所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口与所述滚筒的外壁接触，并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口到达所述滚筒的外壁。

在本实用新型的一个实施例中，所述光阻喷嘴清洗装置还包括设置于所述滚筒下方的浸润槽，所述洗涤溶剂设置在所述浸润槽内，所述洗涤溶剂通过所述溶剂开口与所述滚筒的外壁接触。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚筒包覆件包括两个半圆筒件，所述半圆筒件的两端分别设置有把手，所述把手的一端固定至所述半圆筒件的端部，另一端活动连接至所述固定轴。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚筒包覆件的内径比所述滚筒的外径大4-8cm。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚筒的外径为15-25cm。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚筒包覆件的内径为25-35cm。

在本实用新型的一个实施例中，所述洗涤溶剂为PGMEA。

本实用新型的另一方面提供了一种光阻涂布装置，包括光阻喷嘴和涂布台面，以及任一上述实施例所述的光阻喷嘴清洗装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：