[实用新型]一种管尾便于对接的石英炉管有效
| 申请号： | 201820270522.7 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN207765402U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 谢毅;周丹;谢泰宏;张冠纶;张忠文 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/223 | 分类号： | H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 张玺 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 出孔 对接管 端盖 插槽 炉管 本实用新型 活动连接 石英炉管 定位块 移动板 种管 对接设备 复位弹簧 活动设置 依次增大 自主控制 固定板 内侧壁 同心的 同心环 侧壁 管尾 环面 开通 | ||
1.一种管尾便于对接的石英炉管，包括炉管(1)、端盖(2)以及对接管(3)，其特征在于：所述端盖(2)固定于炉管(1)的管尾处，所述对接管(3)与端盖(2)活动连接；
所述端盖(2)远离炉管(1)一侧设置有若干同心的环面(21)，所述环面(21)上开设有出孔(22)，所述出孔(22)中设置有固定板(23)和移动板(24)，所述固定板(23)与移动板(24)活动连接；
所述端盖(2)远离出孔(22)一侧开设有进孔(5)，所述进孔(5)中固定有横杆(51)，所述端盖(2)在出孔(22)和进孔(5)之间开设有凹槽(4)，所述凹槽(4)中设置有连杆(41)和挤压弹簧(42)，所述连杆(41)两端分别固定于横杆(51)和固定板(23)上，所述挤压弹簧(42)两端分别固定于凹槽(4)内侧壁和移动板(24)上；
所述对接管(3)活动连接于移动板(24)上，且对接管(3)侧壁开设有插槽(6)，所述插槽(6)中活动设置有定位块(7)，所述定位块(7)通过复位弹簧(8)连接于插槽(6)内侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：每个所述环面(21)中只开设有一个出孔(22)。
3.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：所述移动板(24)与出孔(22)连接处设置有密封垫。
4.根据权利要求1所述的一种管尾便于对接的石英炉管，其特征在于：所述插槽(6)侧壁开设有移动槽(9)，所述移动槽(9)内活动设置有限位块(10)，所述限位块(10)固定于定位块(7)上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
