[实用新型]一种高效环形对溅射磁控镀膜机

权利要求书

1.一种高效环形对溅射磁控镀膜机，包括呈圆柱状的壳体，所述壳体内同轴设置有呈圆柱状的空腔，所述壳体上设置有磁控阴极，所述壳体外周开设有抽气口以及进料口，其特征在于：所述空腔内与空腔同轴设置有隔离筒，所述空腔由隔离筒分为真空腔及内环腔，所述真空腔位于壳体内壁侧与隔离筒外壁侧之间，所述内环腔位于隔离筒内壁侧，所述抽气口及进料口与真空腔连通，所述壳体外周沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻所述磁控阴极的磁极相反，所述壳体外周的所有磁控阴极构成第一磁控阴极组，所述隔离筒内壁沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻所述磁控阴极的磁极相反，所述隔离筒内壁的所有磁控阴极构成第二磁控阴极组。

2.根据权利要求1所述的一种高效环形对溅射磁控镀膜机，其特征在于：所述第一磁控阴极组包含的磁控阴极的数量与第二磁控阴极组包含的磁控阴极的数量相同，任意所述第一磁控阴极组的磁控阴极沿壳体径向延伸对应一个第二磁控阴极组的磁控阴极，且对应磁控阴极磁极相反。

3.根据权利要求1所述的一种高效环形对溅射磁控镀膜机，其特征在于：所述抽气口的数量为两个，两个所述的抽气口对称设置于壳体外周，所述进料口的数量为两个，两个所述的进料口对称设置于壳体外周。

4.根据权利要求1所述的一种高效环形对溅射磁控镀膜机，其特征在于：所述壳体位于真空腔内设置有沿真空腔周向转动的公转盘以及驱动公转盘转动的驱动件，所述公转盘沿周向等间距排布设置有若干用于放置工件的放置杆以及若干安装各放置杆的安装底座，各所述安装底座转动连接于公转盘，且安装底座的转动轴与共转盘的转动轴平行设置，各所述放置杆与安装底座固定连接，且放置杆与对应安装底座的转轴同轴设置，各所述安装底座上设置有自转小齿轮，且所述自转小齿轮与安装底座的转轴同轴设置，所述壳体对应自转小齿轮设置有自转大齿轮。

5.根据权利要求4所述的一种高效环形对溅射磁控镀膜机，其特征在于：所述壳体位于真空腔内设置有支撑共转盘的支撑件，所述支撑件为若干呈柱状的小支撑柱，各所述小支撑柱沿真空腔周向等间距排布设置于真空腔底部，且各所述小支撑柱轴向的一端固定连接于真空腔底端，另一端朝向公转盘，所述公转盘朝向小支撑柱侧设置有呈圆环形的定位环槽，各所述小支撑柱滑移设置于定位环槽内。

6.根据权利要求5所述的一种高效环形对溅射磁控镀膜机，其特征在于：所述支撑件包括不同半径的第一支撑件及第二支撑件。